설치 보고서
DVIA-ULF Series
04-24-2026
Zhejiang Chuanghao Hitachi SU5000 FE-SEM DVIA-ULFB700 Installation Report
DVIA-ULF Series
Installation Report
Zhejiang Chuanghao
Hitachi
SU5000
FE-SEM
DVIA-ULFB700
목차
개요
DVIA-ULFB700 능동형 진동 절연 플랫폼은 적절하게 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.
진동 절연 시스템 정보
모델: DVIA-ULFB700
시리얼 번호: 260112R4
엔지니어
Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS
튜닝 날짜
2026년 4월 23일
최종 사용자
Zhejiang Chuanghao Semiconductor Co., Ltd
튜닝 시도 횟수
1차
위치
Yiwu, China
장비
제조사: Hitachi
장비: FE-SEM
모델: SU5000
진동 사양
| Fequency | Horizontal | Vertical |
|---|---|---|
| 2.0 Hz | 2.0 μm p-p max | 5.0 μm p-p max |
| 3.0 Hz | 1.5 μm p-p max | 5.0 μm p-p max |
| 5.0 Hz | 1.5 μm p-p max | 2.0 μm p-p max |
| 8.0 Hz | 1.2 μm p-p max | 1.0 μm p-p max |
| Hz | 1.0 μm p-p max | 1.5 μm p-p max |
장비 상태
The equipment is turned on/IDLE
튜닝 요청
측정 요약
| 측정 지점 | 상태 | 축 | 진동 사양 | 바닥(측정) | DVIA-ULFB700(측정) | 바닥(판정) | DVIA-ULFB700(판정) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1.Floor 2.DVIA-ULFB700 | Equipment is Turned on/IDLE | 수직 | Refer to item 9 | VC-C @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| 좌우 | VC-E @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| 전후 | VC-B @ 100 Hz | VC-G @ 100 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
UI 프로그램을 통해 얻은 측정 데이터
수직 VC 곡선
수직 Autospectrum
수직 전달률
좌우 VC 곡선
좌우 Autospectrum
좌우 전달률
전후 VC 곡선
전후 Autospectrum
전후 전달률
장비 사진
현장 장비 사진
설치 배치 도면
참조
일반 진동 기준
*참고:*
- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일04-24-2026
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
Zhejiang Chuanghao
Hitachi
SU5000
FE-SEM
DVIA-ULFB700
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