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설치 보고서
DVIA-M Series
02-11-2026

Covis Technology AID Robotics DVIA-ML1000S & DVIP-B Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Covis
AID Robotics
DVIP-B
DVIA-ML1000S
DVIA-ML1000

개요

AID로보틱스 1층 연구실에 설치된 DVIA-ML1000S 및 DVIP-B에 대해 튜닝 및 진동 측정을 수행함.

장비 Turned off 상태로 튜닝·진동 측정을 진행함.

Data는 VC Curve로 표기하며, 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공함.

제진대

모델: DVIA-ML1000S, DVIP-B

시리얼 넘버: 260108R1

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

설치 날짜

2026년 2월 11일

보고서 작성일

2026년 2월 12일

설치 장소

AID로보틱스 1층 연구실

End User

코비스테크놀로지

고객사 장비

Manufacturer: 코비스테크놀로지 — Model: 자체제작(보고서 기재)

장비 스펙

VC-D (DVIA-ML1000S 측정 요약의 진동 스펙 기준)

장비 상태

장비 설치 및 Turned off

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ: QUATTRO, Serial 22436, SignalCalc ACE

10.2) 가속도계: PCB 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz / Lines: 3200 / Engineering Units: m/s / Window: Hanning / Averaging: FFT Spectrum Averaging / Averaging mode: Exponential, 40

결론

DVIP-B: 설치 환경의 바닥 진동이 매우 낮아 전달률(Transmissibility) 관점에서 감쇠 효과가 덜 드러질 수 있으나, 이는 입력 진동 자체가 낮기 때문이며 제진 기능은 정상임. 전 방향에서 일부 관찰되는 고주파 성분은 상부 DVIA-ML1000S 컨트롤러의 Cooling FAN에서 기인한 진동으로 판단됨. 공진 주파수는 약 10–30 Hz 구간이며, 패시브 제진 시스템의 고유 특성에 따른 정상 범위임.

DVIA-ML1000S: 바닥 진동이 매우 낮은 환경에서도 안정적인 제진 성능을 유지. 모든 방향에서 VC-G의 진동이 측정됨.

측정 데이터 1) DVIP-B

(Turned off)

측정 장소측정점상태방향측정값(바닥)측정값(DVIP-B)
AID 로보틱스 1층 연구실1. 바닥진동 /
2. DVIP-B
Turned off수직VC-G @ 63 HzVC-G @ 63 Hz
좌우VC-E @ 100 HzVC-F @ 100 Hz
전후VC-G @ 100 HzVC-G @ 100 Hz

측정 데이터 2) DVIA-ML1000S

(Turned off, 수직 축 스펙 VC-D)

측정 장소측정점상태방향진동 스펙측정값(바닥)측정값(DVIA-ML1000S)결과
AID 로보틱스 1층 연구실1. 바닥 /
2. ML1000S
Turned off수직VC-D(곡선 참고)VC-F @ 25 Hz / VC-G @ 25 HzPASS / PASS
좌우(곡선 참고)VC-F @ 10 Hz / VC-G @ 10 HzPASS / PASS
전후(곡선 참고)VC-G @ 50 Hz / VC-G @ 50 HzPASS / PASS

데이터·이미지

14-1) DVIP-B: 수직·좌우·전후 — VC Curves, Autospectrum, Transmissibility

14-2) DVIA-ML1000S: 수직·좌우·전후 — 동일 구성(VC / 오토스펙트럼 / 전달률)

DVIP-B — 수직 VC-curves

DVIP-B — 수직 Autospectrum

DVIP-B — 수직 전달률

DVIP-B — 좌우 VC-curves

DVIP-B — 좌우 Autospectrum

DVIP-B — 좌우 전달률

DVIP-B — 전후 VC-curves

DVIP-B — 전후 Autospectrum

DVIP-B — 전후 전달률

DVIA-ML1000S — 수직 VC-curves

DVIA-ML1000S — 수직 Autospectrum

DVIA-ML1000S — 수직 전달률

DVIA-ML1000S — 좌우 VC-curves

DVIA-ML1000S — 좌우 Autospectrum

DVIA-ML1000S — 좌우 전달률

DVIA-ML1000S — 전후 VC-curves

DVIA-ML1000S — 전후 Autospectrum

DVIA-ML1000S — 전후 전달률

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일02-11-2026
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Covis
AID Robotics
DVIP-B
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