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설치 보고서
DVIA-ULF Series
07-20-2026

YIMOTECH Sensofar Sneox Optical Profilometer DVIA-ULFD350 Installation Report

DVIA-ULF Series
Installation Report
YIMOTECH
Heihe Electronics
Sensofar
Sneox
Optical Profilometer
DVIA-ULFD350
251211R2
Suzhou

개요

중국 쑤저우(Suzhou)에 DVIA-ULFD350을 설치한 뒤 튜닝과 진동 측정을 진행했습니다.

진동 측정은 장비를 IDLE 상태로 둔 채 수행했습니다.

측정 결과는 VC Curve로 정리했고, 진동 수준을 판단할 수 있도록 참고 자료를 함께 실었습니다.

제진 시스템 정보

모델: DVIA-ULFD350

시리얼 넘버: 251211R2

엔지니어

Gyumin.Park · DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2026.07.20

보고서 작성일

2026.07.31

End User

Heihe Electronics Co., Ltd.

튜닝 횟수

1st

설치 장소

Suzhou

고객사 장비

제조사: Sensofar

장비명: Optical Profilometer

모델: Sneox

진동 사양

NA

장비 상태

IDLE

Tuning Request

측정 요약

Measurement PointVibration SpecificationsAxisResult
FloorDVIA-ULFD350
1. Floor
2. DVIA-ULFD350
See Section 9VerticalVC-EVC-G
Left to RightVC-FVC-G
Front to BackVC-FVC-G

측정 데이터 (UI 프로그램)

수직 — Autospectrum

수직 — VC Curves

좌우 — Autospectrum

좌우 — VC Curves

전후 — Autospectrum

전후 — VC Curves

설치 사진

참고자료

아래 표는 IEST-RP-CC012.2를 기준으로 진동 수준을 분류한 것입니다.

기준 곡선설명진폭(μm/s) (μin/s)세부 크기(μm)
Workshop (ISO)뚜렷하게 느껴지는 진동으로, 작업장처럼 진동에 민감하지 않은 공간에 해당합니다.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지할 수 있는 수준의 진동으로, 사무 공간 등 민감하지 않은 환경에 해당합니다.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 진동입니다. 대부분의 수면 공간에 적합하며, 컴퓨터 장비와 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비, 40배 미만 현미경에도 대체로 무리가 없습니다.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준입니다. 수술실과 100배율 현미경, 그 밖의 민감도가 낮은 장비 대부분에 적합합니다.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울, 근접·투영 정렬기 등에 대체로 적합합니다.50 (2,000)8
VC-B선폭 3μm까지의 검사·리소그래피 장비(스테퍼 포함)에 적합합니다.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 세부 크기 1μm까지의 리소그래피·검사 장비(중간 민감도 전자현미경 포함), TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정에 적합한 기준입니다.12.5 (500)1-3
VC-D다수의 전자현미경(SEM·TEM)과 E-Beam 장비처럼 까다로운 장비 대부분에 적합합니다.6.25 (250)0.1-0.3
VC-E달성하기 까다로운 기준입니다. 장경로·레이저 기반·소형 타깃 시스템, 나노미터 수준의 E-Beam 리소그래피 등 특별한 동적 안정성이 필요한 장비에 적합한 것으로 봅니다.3.12 (125)< 0.1
VC-F매우 조용한 연구 공간을 위한 기준으로, 특히 클린룸에서는 달성이 어렵습니다. 설계 기준이 아니라 평가용으로만 권장합니다.1.56 (62.5)N/A
VC-G매우 조용한 연구 공간을 위한 기준으로, 특히 클린룸에서는 달성이 어렵습니다. 설계 기준이 아니라 평가용으로만 권장합니다.0.78 (31.3)N/A

참고:

1. VC-A·VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 구간의 1/3 옥타브 밴드에서 측정한 값입니다.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서는 선폭을, 의료·제약 연구에서는 입자(셀) 크기를 뜻하며, 프로브 기술·AFM·나노 기술 관련 이미징에도 적용됩니다.

3. 이 표의 값은 참고용입니다. 실제 적용 시에는 해당 장비와 공정의 진동 요구 조건을 잘 아는 전문가의 조언을 받는 것을 권장합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일07-20-2026
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Installation Report
YIMOTECH
Heihe Electronics
Sensofar
Sneox
Optical Profilometer
DVIA-ULFD350
251211R2
Suzhou