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설치 보고서
DVIA-M Series
01-19-2026

Shanghai Silicon Power PXB-BE-200HV DVIA-ML1000 (251023R6) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Shanghai Silicon Power Semiconductor
PXB-BE-200HV
DVIA-ML1000

개요

DSP 보드 이상 확인 후 보드 교체 및 재튜닝; 2차 방문(1차 튜닝 2025년 1월 13일).

PXB-BE-200HVDVIA-ML1000 — 설치 및 동작 상태 양호; 상하이 현장에서 Turned on / IDLE 상태로 UI 프로그램 측정.

양식상 Vibration specificationN/A이며, 측정 요약은 도미넌트 주파수에서 바닥DVIA-ML1000VC를 대비.

VC / ISO 일반 기준은 말미 Reference에 수록.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 251023R6

담당 엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

튜닝 일자

2026년 1월 19일

보고서 작성일

2026년 1월 19일

End User

Shanghai Silicon Power Semiconductor

튜닝 횟수

2차 (1차: 2025년 1월 13일)

설치 위치

Shanghai(상하이)

장비

제조사: Shanghai Silicon Power Semiconductor

장비: —(양식 기재)

모델: PXB-BE-200HV

진동 사양(양식)

현장 N/A로 기재. 아래 측정 데이터·측정 요약Reference의 일반 VC 맥락에서 해석합니다.

장비 상태

Turned on / IDLE

(측정 시).

튜닝 요청(Tuning request)

N/A

측정 요약

상태바닥DVIA-ML1000
PXB-BE-200HV is turned on/IDLE수직VC-C @ 12.5 HzVC-G @ 12.5 Hz
좌우VC-C @ 2.5 HzVC-G @ 2.5 Hz
전후VC-C @ 3.15 HzVC-G @ 3.15 Hz

데이터 및 이미지

수직 VC Curves

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 VC Curves

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 VC Curves

전후 Autospectrum

전후 전달률

장비 사진(현장)

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일01-19-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Shanghai Silicon Power Semiconductor
PXB-BE-200HV
DVIA-ML1000