Tier-1 Semiconductor Giheung SR1 ZEISS AIMS™ 1X-193i DVIA-P4000 (190104R4) Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor 기흥사업장 SR1 5F Line에 설치된 DVIA-P4000 점검 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 설치 및 IDLE 상태로 점검 및 진동측정 진행하였습니다.
제진대 위에 설치된 장비 인접부에 Booth 구조물이 연결되어 있었으며, 해당 Booth에서 강한 진동이 지속적으로 발생하는 것이 확인되었습니다. 이러한 진동은 제진대의 성능 및 진동측정 결과에 영향을 미칠 가능성이 높습니다.
제진대 인근 장비에서 제진대 위 장비 방향으로 배기팬이 작동 중이었으며, 이로 인한 공기 진동 및 기류 영향 또한 제진대의 성능과 진동측정 결과에 영향을 줄 수 있습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 190104R4
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2025년 10월 14일
보고서 작성일
2025년 10월 15일
점검 날짜
2025년 10월 14일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 기흥사업장 SR1동 5F Line
End User
Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: Photomask Qualification
Model: AIMS™ 1X-193i
장비 스펙
N/A
장비상태
장비 설치 및 IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
제진대 최초 점검 시, 4개의 Unit이 동일한 높이로 부상하지 않고 각 Unit별 부상 높이에 차이가 있는 현상이 확인되었습니다.
Unit 1: 1.2 mm, Unit 2: 2.3 mm, Unit 3: 3.8 mm
DVIA-P Series는 4개의 Unit이 동일 높이로 부상하도록 설정되는 구조이므로, 현장 점검 시 수평 불량을 확인하고 각 Unit의 부상 높이를 2.5 mm로 재설정하였습니다.
모든 방향에서 12.5 – 31.5 Hz까지 제진대의 성능이 다소 떨어지게 측정되었습니다. 이는 제진대 위의 장비와 연결된 Booth 구조물에서 발생하는 진동과, 제진대 인근 장비 방향으로 작동 중인 배기팬의 영향입니다. 이 외의 대역대에서는 모든 방향에서 VC-F이하의 진동이 측정됩니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 바닥진동 | DVIA-P4000 |
|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor 기흥사업장 SR1 5F Line 1. 바닥진동 2. DVIA-P4000 | 장비 설치 및 IDLE | Vertical | VC-C @ 100 Hz | VC-G @ 100 Hz |
| Left to Right | VC-C @ 63 Hz | VC-F @ 63 Hz | ||
| Front to Back | VC-D @ 3.15 Hz | VC-G @ 3.15 Hz |
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C~VC-G는 1–80 Hz에서 측정합니다.
2. Detail size는 전자 소자 제조의 라인 폭이나 의학 연구의 입자 크기 등을 가리킵니다.
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케이스 스터디 정보
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