Tier-1 Semiconductor Hwaseong ZEISS AIMS™ 1X-193i DVIA-P4000 (034014B) Installation Report
Contents
개요
삼성전자 화성사업장 NRD Line 3F 7bay에 설치된 DVIA-P4000 점검 진행하였습니다.
장비 설치 및 IDLE 상태로 점검 및 진동측정 진행하였습니다.
최초 점검 시, 제진대 상부에 설치된 문 구조물이 제진대의 움직임과 간섭을 일으키고 있었습니다. 이러한 구조적 간섭은 제진 성능에 직접적이고 강한 영향을 미치는 요소입니다. 해당 구조물을 제거한 후, 튜닝을 진행하였습니다.
제진대 위에 설치된 장비 인접부에 Booth 구조물이 연결되어 있었으며, 해당 Booth에서 강한 진동이 지속적으로 발생하는 것이 확인되었습니다. 이러한 진동은 제진대의 성능 및 진동측정 결과에 영향을 미칠 가능성이 높습니다.
최조 점검 시 제진대 Turned off 상태였습니다. 점검 전과 점검 후 데이터를 비교하기 위해 제진대 Turned off시 진동측정 데이터와 튜닝 후 Active 상태의 진동측정 데이터를 비교하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 034014B
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
점검 날짜
2025년 10월 23일
설치 장소
삼성전자 화성사업장 NRD Line 3F 7bay
End User
삼성전자
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: Photomask Qualification
Model: AIMS™ 1X-193i
장비 스펙
VC-C
장비상태
장비 설치 및 IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
제진대 최초 점검 시 제진대 Turned off 상태였으며, 이 상태에서는 모든 방향에서 SPEC Out입니다.
제진대 튜닝 후 측정 결과 모든 방향에서 SPEC을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 지점 | 상태 | 방향 | 진동 스펙 | 측정 (바닥 — Turned off) | 측정 (DVIA-P4000 — Turned off) | 결과 (바닥) | 결과 (DVIA-P4000) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Turned off | DVIA-P4000 | Turned off | DVIA-P4000 | ||||
| 삼성전자 화성사업장 NRD Line 3F 7bay 1. Turned off 2. DVIA-P4000 | 장비 설치 및 IDLE | Vertical | VC-C | VC-B @ 31.5 Hz | VC-E @ 31.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-B @ 40 Hz | VC-E @ 40 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| Front to Back | VC-B @ 31.5 Hz | VC-C @ 31.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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