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설치 보고서
DVIA-P Series
12-22-2023

Tier-1 Semiconductor Giheung SR1 ZEISS AIMS 1X DVIA-P4000 (190104R4) Inspection Report

DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ZEISS
AIMS
DVIA-P4000

Contents

개요

삼성전자 기흥사업장에 설치된 DVIA-P 2대에 대한 점검 요청으로 인해 점검 진행했습니다.

Daeil UI Program Transmissibility, 진동 측정 확인 결과 정상적인 Performance를 보입니다.

장비 On/Off 상태 비교 점검을 통해 장비 IDLE 상태 진동에 의한 영향을 알 수 있습니다.

시스템 정보

Model: DVIA-P4000

Serial Number: 190104R4

Serial Number (SAC-07): 038305A

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이영하, 박종원

점검 날짜

2023년 12월 20일

보고서 작성일

2023년 12월 22일

출장 일자

2017년 12월 27일~2017년 12월 29일

설치 장소

Tier-1 Semiconductor SR1 line, Giheung

End User

Tier-1 Semiconductor

장비

ZEISS AIMS 1X

진동 결과 요약

AIMs IDLE Condition

Measurement PointZ-axis (Vertical) 1-10 HzZ-axis (Vertical) 12.5-80 HzX-axis (Left to Right) 1-10 HzX-axis (Left to Right) 12.5-80 HzY-axis (Front to Back) 1-10 HzY-axis (Front to Back) 12.5-80 Hz
FloorDDDEDD
ActiveDBDCDA

장비가 IDLE 상태일 때, 주로 10-15Hz, 20-40hz 대역에서 증폭이 일어납니다.

AIMs Power off

Measurement PointZ-axis (Vertical) 1-10 HzZ-axis (Vertical) 12.5-80 HzX-axis (Left to Right) 1-10 HzX-axis (Left to Right) 12.5-80 HzY-axis (Front to Back) 1-10 HzY-axis (Front to Back) 12.5-80 Hz
FloorDDDEDD
ActiveEEEEEE

장비가 Power off 상태일 때, 모든 대역에서 지반진동을 감쇠 동작합니다.

데이터 및 이미지

Z-axis (Vertical) Transmissibility (AIMs Power on)

Z-axis (Vertical) Transmissibility (AIMs Power off)

Z-axis (Vertical) VC curves (AIMs Power on)

Z-axis (Vertical) VC curves (AIMs Power off)

X-axis (Left to Right) Transmissibility (AIMs Power on)

X-axis (Left to Right) Transmissibility (AIMs Power off)

X-axis (Left to Right) VC curves (AIMs Power on)

X-axis (Left to Right) VC curves (AIMs Power off)

Y-axis (Front to Back) Transmissibility (AIMs Power on)

Y-axis (Front to Back) Transmissibility (AIMs Power off)

Y-axis (Front to Back) VC curves (AIMs Power on)

Y-axis (Front to Back) VC curves (AIMs Power off)

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		Detail Size
μm
Workshop (ISO)Distinctly perceptible vibration. Appropriate to workshops and non-sensitive areas.800 (32,000)N/A
Office (ISO)Perceptible vibration. Appropriate to offices and non-sensitive areas.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)Barely perceptible vibration. Appropriate to sleep areas in most instances.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)Vibration not perceptible. Suitable for surgical suites, microscopes to 100x.100 (4,000)25
VC-AAdequate for optical microscopes to 400x, microbalances, optical balances.50 (2,000)8
VC-BAppropriate for inspection and lithography equipment to 3μm line widths.25 (1,000)3
VC-CAppropriate for optical microscopes to 1000x, lithography equipment to 1μm.12.5 (500)1 - 3
VC-DSuitable for demanding equipment including electron microscopes (SEMs/TEMs).6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-EFor the most demanding systems including E-Beam lithography at nanometer scales.3.12 (125)< 0.1
VC-FFor extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.1.56 (62.5)N/A
VC-GFor extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C~VC-G는 1–80 Hz에서 측정합니다.

2. Detail size는 전자 소자 제조의 라인 폭이나 의학 연구의 입자 크기 등을 가리킵니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일12-22-2023
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ZEISS
AIMS
DVIA-P4000

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