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설치 보고서
DVIA-ULF Series
11-18-2025

Espisystems Jarvis E Print Inspection Equipment DVIA-ULF1500 Installation Report

DVIA-ULF Series
Installation Report
Espisystems
Jarvis E

개요

에스피시스템즈 1F 설비룸에 설치된 DVIA-ULF1500 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.장비 설치 및 Turned off상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

진동 절연 시스템 정보

모델: DVIA-ULF1500

시리얼 넘버: 250904R1

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

측정 날짜

2025년 11월 18일

설치 장소

에스피시스템즈 1F 설비룸

End User

에스피시스템즈

고객사 장비

N/A

장비 스펙

Manufacturer: 에스피시스템즈

Equipment: 인쇄검사장비(인쇄용 금형)

Model: 자비스 E

장비 상태

장비 설치 및 Turned on/IDLE

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

-Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

- PCB Accelerometer

- Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Averaging mode: Exponential, 40

결론

모든 방향에서 1 - 2 Hz 구간에서는 약 50 – 70%의 제진 성능을 보이며, 2 Hz 이후 구간에서는 90% 이상의 제진 성능이 나타나고 있습니다.

측정 데이터

측정 장소상태방향바닥진동DVIA-ULF1500
에스피시스템즈 1F 설비룸
1. 바닥진동
2. DVIA-ULF1500
Turned offVerticalVC-C @ 80 HzVC-G @ 80 Hz
Left to RightVC-E @ 50 HzVC-G @ 50 Hz
Front to BackVC-E @ 50 HzVC-G @ 50 Hz

데이터 및 이미지

수직 VC 곡선

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 VC 곡선

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 VC 곡선

전후 Autospectrum

전후 전달률

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드 Hz, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일11-18-2025
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
Espisystems
Jarvis E