설치 보고서
DVIA-M Series
07-11-2025
YIMO ZEISS FE-SEM Sigma 560 DVIA-ML1000 (250611R3) Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
ZEISS
FE-SEM
Sigma 560
DVIA-ML1000
Contents
개요
DVIA-ML1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 250611R3
담당 엔지니어
Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
2025년 7월 11일
보고서 작성일
2025년 7월 11일
End User
N/A
튜닝 횟수
1st
설치 위치
N/A
장비
제조사: ZEISS
장비: FE-SEM
모델: Sigma 560
장비 상태
The equipment is installed/IDLE
Tuning Request
N/A
데이터 및 이미지
수직 전달률
좌우 전달률
전후 전달률
장비 사진
Reference
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.
2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일07-11-2025
태그
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
ZEISS
FE-SEM
Sigma 560
DVIA-ML1000
