HEM6000 SEM DVIA-MB1000 (S/N 250514R3) 설치 보고서
DVIA-M Series
Installation Report
Westlake University
CIQTEK
SEM
HEM6000
DVIA-MB1000
250514R3
Hangzhou
Contents
개요
DVIA-MB1000을 항저우에 설치한 뒤 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.
장비를 IDLE 상태로 둔 채 진동 측정을 수행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 함께 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-MB1000
시리얼 넘버: 250514R3
엔지니어
박규민 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.10.27
End User
Westlake University
튜닝 횟수
1st
설치 장소
항저우
고객사 장비
제조사: CIQTEK
장비명: SEM
모델: HEM6000
진동 스펙
Horizontal
| Frequency [Hz] | Allowable [µm/s RMS] |
|---|---|
| 0 ~ 15 | 2 |
| 15 ~ 60 | 6 |
| Above 60 | 10 |
Vertical
| Frequency [Hz] | Allowable [µm/s RMS] |
|---|---|
| 0 ~ 15 | 2 |
| 15 ~ 60 | 8 |
| Above 60 | 10 |
장비 상태
Turn Off
튜닝 요청
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-MB1000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-MB1000 | 9절 참조 | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
측정 데이터
Vertical — Autospectrum
Left to Right — Autospectrum
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
장비
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에는 해당하지 않습니다.
이 표에 제공된 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 조언을 구하는 것이 좋습니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
작성일10-27-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Westlake University
CIQTEK
SEM
HEM6000
DVIA-MB1000
250514R3
Hangzhou
