설치 보고서
DVIA-M Series
05-16-2025
Raith FIB-SEM PIONEER DVIA-M1000 (250220R4) Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-M1000
250220R4
Raith
PIONEER
E-Beam
FIB-SEM
Beijing
Contents
개요
The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-M1000
시리얼 넘버: 250220R4
담당 엔지니어
Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
May 12, 2025
보고서 작성일
25.05.16
튜닝 횟수
1st
설치 위치
Beijing, China
End User
Beijing Institute of Technology
장비
제조사: Raith
장비: FIB-SEM
모델: PIONEER
장비 상태
The equipment is installed/IDLE
Tuning Request
N/A
데이터 및 이미지
수직 전달률
좌우 전달률
전후 전달률
장비
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일05-16-2025
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-M1000
250220R4
Raith
PIONEER
E-Beam
FIB-SEM
Beijing
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