Techsend Photomask CLB KLA Reticle Inspection System KLA597XR DVIA-P4000 Installation Report
Contents
개요
테크센드포토마스크 CLB에 설치된 DVIA-P4000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
DVIA-P4000을 노트북에 연결하여 UI software을 통해 피드백과 피드포워드 튜닝 및 Brüel & Kjær사의 DAQ 측정장비를 이용하여 진동측정으로 성능점검을 진행했습니다.
측정 Data를 진동 요구 조건과 비교하여 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 241202R4
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2024년 12월 29일
설치 장소
테크센드포토마스크 CLB
End User
테크센드포토마스크
고객사 장비
Manufacturer: KLA
Equipment: Reticle Inspection System
Model: KLA597XR
장비상태
장비 미설치
진동 스펙
진동 측정 장비
10.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050 DAQ
Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 1600 Hz
Lines: 1600
Engineering Units: m/s/Hz1/2
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Average: Stable, 20
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 장비스펙 | 방향 | 측정값 | 측정 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-P4000 | Floor | DVIA-P4000 | ||||
| (unit: um/s/Hz1/2) | (unit: um/s/Hz1/2) | ||||||
| CLB Room 1. Floor 2. DVIA-P4000 | 장비 미설치 | 20 um/s/Hz1/2 | Vertical | 173 @ 1 Hz | 12.85 @ 1 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | 103 @ 1 Hz | 3.562 @ 1 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| Front to Back | 18.1 @ 1 Hz | 6.372 @ 1 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
데이터&이미지
Vertical Velocity Spectral Density
Left to Right Velocity Spectral Density
Front to Back Velocity Spectral Density
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케이스 스터디 정보
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