Techsand Photomask CLB ZEISS MeRiT MG neo DVIA-P2200 Installation Report
Contents
개요
테크샌드포토마스크 CLB에 설치된 DVIA-P2200의 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 설치 전 진동스펙을 만족하는지 확인하기 위해 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P2200
시리얼 넘버:250626R1
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2025년 09월 17일
최종 사용자
테크샌드포토마스크
설치 장소
테크샌드포토마스크
장비 상태
장비 미설치
장비 정보
Manufacturer: ZEISS
Equipment: X-ray Microscope
Model: MeRiT® MG neo
진동 측정 장비
9.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
9.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 1250 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
장비 진동 스펙
결론
모든 방향에서 Spec을 만족합니다.
Vertical 방향 200–250 Hz 구간에서 제진대 상부 진동이 바닥 진동보다 다소 크게 측정되었습니다. 이는 무부하 상태(장비 미설치 상태)에서 상부패드 및 상판의 구조적 고유진동( Flexible Mode )이 나타난 것으로 판단됩니다. 실제 장비가 상부에 설치되면 질량 부하에 의해 해당 고유진동은 감쇠되며, 제진 성능에는 영향을 주지 않을 것으로 예상됩니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 진동 스펙 | 방향 | 측정값 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥진동 | DVIA-P2200 | 바닥진동 | DVIA-P2200 | ||||
| 테크샌드포토마스크 CLB 1. 바닥진동 2. DVIA-P2200 | 장비 미설치 | VC-D | Vertical | VC-D @ 50 Hz | VC-G @ 1 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-D @ 16 Hz | VC-F @ 16 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| Front to Back | VC-C @ 16 Hz | VC-G @ 16 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Transmissibility
참고자료
VC / ISO 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 대역에서 측정하고, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정합니다.
2. 세부 크기는 전자제품 제조의 선폭 또는 의학 연구의 입자 크기를 의미합니다.
