DVIA-ML1000 (241120R5) 설치 보고서
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-ML1000
241120R5
Contents
개요
N/A
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 241120R5
담당 엔지니어
박동규, 이채원
튜닝 일자
25.09.08
보고서 작성일
25.09.15
End User
Tier-1 Semiconductor DSR
튜닝 횟수
N/A
설치 위치
N/A
장비
제조사: N/A
장비: N/A
모델: DVIA-ML1000
진동 사양
장비 상태
N/A
측정 요약
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 측정값(m/s rms) | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥진동 | DVIA-ML1000 | 바닥진동 | DVIA-ML1000 | |||
| Tier-1 Semiconductor DSR A동 연구타워 지하 1층 연구소 1. 바닥진동 2. DVIA-ML1000 | Turned on/IDLE | Vertical | VC-C @ 25 Hz | VC-G @ 25 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-F @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | VC-E @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical VC Curves
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
