본문으로 바로가기
설치 보고서
DVIA-M Series
03-28-2025

DVIA-ML1000 (241107R5) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-ML1000
241107R5

개요

N/A

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 241107R5

담당 엔지니어

이채원

튜닝 일자

25.02.24

보고서 작성일

25.03.28

End User

N/A

튜닝 횟수

N/A

설치 위치

N/A

장비

제조사: N/A

장비: N/A

모델: DVIA-ML1000

장비 상태

장비 설치 및 Turned on/IDLE

측정 요약

측정 장소상태방향측정값
FloorDVIA-ML1000
삼성전자 화성 12라인 4층 연구실
1. Floor
2. DVIA-ML1000
장비 설치/IDLEVerticalVC-A @ 8 HzVC-F @ 8 Hz
Left to RightVC-B @ 3.15 HzVC-G @ 3.15 Hz
Front to BackVC-C @ 2.5 HzVC-G @ 2.5 Hz

데이터 및 이미지

Vertical VC Curves

Vertical VC Curves

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일03-28-2025
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-ML1000
241107R5