DVIA-ML1000 (241107R5) 설치 보고서
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-ML1000
241107R5
Contents
개요
N/A
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 241107R5
담당 엔지니어
이채원
튜닝 일자
25.02.24
보고서 작성일
25.03.28
End User
N/A
튜닝 횟수
N/A
설치 위치
N/A
장비
제조사: N/A
장비: N/A
모델: DVIA-ML1000
장비 상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
측정 요약
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 측정값 | |
|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-ML1000 | |||
| Tier-1 Semiconductor 화성 12라인 4층 연구실 1. Floor 2. DVIA-ML1000 | 장비 설치/IDLE | Vertical | VC-A @ 8 Hz | VC-F @ 8 Hz |
| Left to Right | VC-B @ 3.15 Hz | VC-G @ 3.15 Hz | ||
| Front to Back | VC-C @ 2.5 Hz | VC-G @ 2.5 Hz | ||
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical VC Curves
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
