Tier-1 Semiconductor Hitachi SEM SU7000 DVIA-ML1000 (240919R8) Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor 청주 4캠퍼스 M4층 연구소에 설치된 DVIA-ML1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 설치 및 Turned off 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 240919R8
담당 엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 일자
2025년 01월 03일
보고서 작성일
2025년 01월 08일
End User
Tier-1 Semiconductor
튜닝 횟수
N/A
설치 위치
Tier-1 Semiconductor 청주 4캠퍼스 M15 4M 연구소
장비
제조사: Hitachi
장비: SEM
모델: SU7000
장비 스펙
Horizontal: VC-G, Vertical: VC-F
장비 상태
장비 설치 및 Turned off
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | Floor | DVIA-ML1000 |
|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor 청주 4캠퍼스 M15 4M 연구소 1. Floor 2. DVIA-ML1000 | 장비 설치/ Turned off | Vertical | VC-A @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz |
| Left to Right | VC-D @ 4 Hz | VC-G @ 4 Hz | ||
| Front to Back | VC-D @ 4 Hz | VC-G @ 4 Hz |
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
