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설치 보고서
DVIA-M Series
11-21-2024

Yonsei University Unisoki Low Temperature SPM USM1200 DVIA-ML1000 (240821R5) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Yonsei University
Unisoki
SPM
USM1200
DVIA-ML1000
240821R5

개요

연세대학교 첨단과학기술연구관에 설치된 DVIA-ML1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 안착 후 장비 IDLE 상태로 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.

Brüel & Kjær사의 DAQ 측정장비를 이용하여 진동측정으로 성능점검을 진행했습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 240821R5

담당 엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

튜닝 일자

2024년 11월 19일

보고서 작성일

2024년 11월 21일

Prepared for

N/A

End User

연세대학교

튜닝 횟수

N/A

설치 장소

연세대학교 첨단과학기술연구관 양자이미징연구실

장비

Manufacturer: Unisoki

Equipment: Low Temperature SPM

Model: USM1200

장비 상태

장비 설치 및 IDLE

측정 장비

8.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050

-Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040

-Software: B&K Pulse Labshop 22 Version

8.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 사양

진동 측정 Setup

Bandwidth: 200 Hz

Lines: 800

Averaging: Spectrum Averaging

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Overlap: Max

결론

모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.

일부 구간에서 진동이 증폭하는 것은 USM1200 자체 진동입니다.

측정 요약

Measurement locationStatusDirectionFloor vibrationDVIA-ML1000Floor resultPlatform result
연세대학교 양자 이미지 연구실
1. Floor
2. DVIA-ML1000
장비 설치/IDLEVerticalVC-G @ 31.5 HzVC-G @ 31.5 HzPASSPASS
연세대학교 양자 이미지 연구실
1. Floor
2. DVIA-ML1000
장비 설치/IDLELeft to RightVC-G @ 20 HzVC-G @ 20 HzPASSPASS
연세대학교 양자 이미지 연구실
1. Floor
2. DVIA-ML1000
장비 설치/IDLEFront to BackVC-G @ 20 HzVC-G @ 20 HzPASSPASS

데이터 및 이미지

수직 VC Curves

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 VC Curves

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 VC Curves

전후 Autospectrum

전후 전달률

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일11-21-2024
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Yonsei University
Unisoki
SPM
USM1200
DVIA-ML1000
240821R5