설치 보고서

DVIA-M Series

01-07-2026

YIMO Unisoku STM DVIA-ML1000 (250331R2) Installation Report

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Unisoki

STM

DVIA-ML1000

250331R2

Prepared by

Engineer: Chaewon Lee

Tuning date: 26.01.07

Report written date: 26.01.07

개요

진동이 발생하여 제진대 재튜닝을 수행하였습니다.

튜닝 완료 후 DVIA-ML1000의 안정적 동작이 확인되었으며 STM 영상 품질이 양호함을 검증하였습니다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 250331R2

담당 엔지니어

Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2026년 1월 7일

End User

N/A

튜닝 횟수

3rd

설치 위치

N/A

장비

제조사: Unisoku

장비: STM

모델: N/A

진동 사양

N/A

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

Tuning Request

N/A

Measurement Data Obtained via UI Program

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 Autospectrum

전후 전달률

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일01-07-2026

태그

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Unisoki

STM

DVIA-ML1000

250331R2

YIMO Unisoku STM DVIA-ML1000 (250331R2) Installation Report

Contents

Prepared by

개요

진동 제어 시스템 정보

담당 엔지니어

튜닝 일자

End User

튜닝 횟수

설치 위치

장비

진동 사양

장비 상태

Tuning Request

Measurement Data Obtained via UI Program

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 Autospectrum

전후 전달률

장비 사진

Reference

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