설치 보고서
DVIA-P Series
10-07-2024
YIMO(Huahong) ASML E-beam Wafer inspection system eScan 460 DVIA-P4000 Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
YIMO
ASML
eScan 460
DVIA-P4000
240424R1
Contents
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 240424R1
엔지니어
대일시스템 이채원
보고서 작성일: 2024-10-12
튜닝 일자
2024-10-07
설치 위치
Huahong
장비
제조사: ASML
장비: E-beam Wafer inspection system
모델: eScan 460
장비 상태
The equipment was installed on the DVIA-P4000 platform. Operation
튜닝 시행 횟수
2nd(1st: 24.09.12)
측정 장비
8.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050
- Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
- Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
8.2) Accelerometer
- PCB Accelerometer
- Model: 393B05
측정 설정
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 800
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
진동 기준
VC-D
결론
장비를 DVIA-P4000에 설치한 후, 모든 축의 베이스 진동이 진동 기준 내에 있게 되었습니다.
측정 요약
| 측정 지점 | 상태 | 축 | 진동 기준 | 측정 데이터 | 결과 |
|---|---|---|---|---|---|
| FAB 1. Floor 2. DVIA-P4000 | Equipment is installed and operation. | Vertical | 6.25E-06 m/s (VC-D) | VC-F @ 20 Hz | ✓ PASS |
| Left to Right | 6.25E-06 m/s (VC-D) | VC-F @ 2 Hz | ✓ PASS | ||
| Front to Back | 6.25E-06 m/s (VC-D) | VC-F @ 2 Hz | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
수직 VC 곡선
좌우 VC 곡선
전후 VC 곡선
참조
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일10-07-2024
태그
DVIA-P Series
Installation Report
YIMO
ASML
eScan 460
DVIA-P4000
240424R1
