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설치 보고서
DVIA-M Series
04-23-2026

YIMO TECH Qingdao Aviation Innovation Base Ciqtek SEM660F FIB-SEM DVIA-ML1000 Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
YIMO TECH
Qingdao Aviation Technology Industry Innovation Base
Ciqtek
FIB-SEM
SEM660F
DVIA-ML1000
240411R7
Qingdao

Contents

개요

DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼이 올바르게 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.

장비 하부에 냉각 팬이 설치되어 있고, 이 팬의 바람이 DVIA-ML1000에 직접 닿아 성능에 영향을 주고 있습니다.

진동 제어 시스템 정보

Model: DVIA-ML1000

Serial Number: 240411R7

엔지니어

Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

April 20, 2026

보고서 작성일

26.04.23

End User

Qingdao Aviation Technology Industry Innovation Base

튜닝 횟수

3rd

설치 장소

Qingdao, China

장비

Manufacturer: Ciqtek

Equipment: FIB-SEM

Model: SEM660F

진동 사양

N/A

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

Tuning Request

N/A

측정 요약

Measurement PointStatusAxisMeasurement Data
FloorDVIA-ML1000
1.Floor
2.DVIA-ML1000		Equipment is Turned on/IDLEVerticalVC-E
@ 31.5 Hz		VC-G
@ 31.5 Hz
Left to RightVC-G
@ 4 Hz		VC-G
@ 4 Hz
Front to BackVC-G
@ 31.5 Hz		VC-G
@ 31.5 Hz

측정 데이터 (UI 프로그램)

수직 VC Curves

수직 Autospectrum

수직 Transmissibility

좌우 VC Curves

좌우 Autospectrum

좌우 Transmissibility

전후 VC Curves

전후 Autospectrum

전후 Transmissibility

장비 사진

참고자료

기준 곡선용도 설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 느껴지는 진동. 작업장 등 진동에 민감하지 않은 공간에 적합합니다.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지되는 수준의 진동. 사무 공간 등 민감하지 않은 공간에 적합합니다.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 진동. 대부분의 수면 공간에 적합하며, 컴퓨터 장비와 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비, 40배 미만 현미경에도 대체로 충분합니다.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 수술실과 100배율 현미경을 비롯한 민감도가 낮은 장비 대부분에 적합합니다.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울, 근접·투영 정렬기 등에 대체로 충분합니다.50 (2,000)8
VC-B선폭 3µm급 검사·리소그래피 장비(스테퍼 포함)에 적합합니다.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경과 세부 크기 1µm급 리소그래피·검사 장비(중간 민감도 전자현미경 포함), TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정에 적합한 기준입니다.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM·TEM)과 E-Beam 장비를 포함해 요구 조건이 까다로운 장비 대부분에 적합합니다.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E달성하기 어려운 기준입니다. 장거리 광경로·레이저 기반 소형 타깃 장비, 나노미터급 E-Beam 리소그래피 등 극도의 동적 안정성이 필요한 장비에 적합한 수준으로 봅니다.3.12 (125)< 0.1
VC-F매우 조용한 연구 공간에 해당하는 수준입니다. 특히 클린룸에서는 달성이 어려워 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장합니다.1.56 (62.5)N/A
VC-G매우 조용한 연구 공간에 해당하는 수준입니다. 특히 클린룸에서는 달성이 어려워 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장합니다.0.78 (31.3)N/A

참고:

1. VC-A·VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 구간의 1/3 옥타브 밴드에서 측정한 값입니다.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서는 선폭을, 의료·제약 연구에서는 입자(세포) 크기를 뜻합니다.

3. 세부 크기는 프로브 기술이나 AFM, 나노 기술과 관련된 이미징에는 적용되지 않습니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일04-23-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO TECH
Qingdao Aviation Technology Industry Innovation Base
Ciqtek
FIB-SEM
SEM660F
DVIA-ML1000
240411R7
Qingdao

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