설치 보고서

DVIA-M Series

07-22-2026

YOUSHIZE TECH ZEISS GeminiSEM 360 FIB-SEM DVIA-ML1000 Installation Report

DVIA-M Series

Installation Report

YOUSHIZE TECH

ZEISS

GeminiSEM 360

FIB-SEM

DVIA-ML1000

260528R4

Yancheng

개요

DVIA-ML1000을 Yancheng에 설치한 후 튜닝 및 진동 측정을 수행했습니다.

진동 측정은 장비가 IDLE 상태에서 수행되었습니다.

측정 데이터는 VC Curve 형식으로 표현되며, 진동 수준에 대한 참고 자료가 함께 제공됩니다.

진동 제어 시스템 정보

Model: DVIA-ML1000

Serial Number: 260528R4

엔지니어

Taehun KIM · DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2026.07.09

보고서 작성일

2026.07.14

End User

Yancheng High-tech Zone

튜닝 횟수

1st

설치 장소

Yancheng

장비

Manufacturer: ZEISS

Equipment: FIB-SEM

Model: GeminiSEM 360

진동 사양

장비 상태

IDLE

Tuning Request

측정 요약

Measurement Point	Vibration Specifications	Axis	Result
Measurement Point	Vibration Specifications	Axis	Floor	DVIA-ML1000
1. Floor 2. DVIA-ML1000	See Section 9	Vertical	✓ PASS	✓ PASS
		Left to Right	✓ PASS	✓ PASS
		Front to Back	✓ PASS	✓ PASS

측정 데이터 (UI 프로그램)

Vertical — Autospectrum

Left to Right — Autospectrum

Front to Back — Autospectrum

Installation Photo

참고자료

아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준 진동 수준을 분류한 것입니다.

기준 곡선	설명	진폭(μm/s) (μin/s)	세부 크기(μm)
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간, 컴퓨터 장비, 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비, 40배 미만 현미경에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 대부분의 수술실, 100배율 이하 현미경 및 기타 저민감도 장비에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울, 근접·투영 정렬 장비 등에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피(스테퍼 포함) 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 세부 크기의 리소그래피·검사 장비(중간 민감도 전자현미경 포함), TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정에 적합한 표준.	12.5 (500)	1-3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM), E-Beam 시스템 등 까다로운 장비 대부분에 적합.	6.25 (250)	0.1-0.3
VC-E	달성하기 까다로운 기준. 장경로·레이저 기반·소형 타겟 시스템, 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 극도로 까다로운 민감 시스템에 적합할 것으로 가정.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장.	0.78 (31.3)	N/A

참고:

1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기를 의미합니다.

3. 본 표의 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 해당 장비 및 공정의 진동 요구 사항에 대해 전문가의 조언을 구하는 것이 권장됩니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일07-22-2026

태그

DVIA-M Series

Installation Report

YOUSHIZE TECH

ZEISS

GeminiSEM 360

FIB-SEM

DVIA-ML1000

260528R4

Yancheng

YOUSHIZE TECH ZEISS GeminiSEM 360 FIB-SEM DVIA-ML1000 Installation Report

Contents

개요

진동 제어 시스템 정보

엔지니어

튜닝 일자

보고서 작성일

End User

튜닝 횟수

설치 장소

장비

진동 사양

장비 상태

Tuning Request

측정 요약

측정 데이터 (UI 프로그램)

Left to Right — Autospectrum

Front to Back — Autospectrum

Installation Photo

참고자료

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케이스 스터디 정보

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