ZEISS Korea Innovation Center DVIA-MB1000 (231128R4), ZEISS FIB-SEM Crossbeam 550 Installation Report
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Prepared for
ZEISS
개요
ZEISS KOREA Innovation Center에 설치된 DVIA-MB1000에 대한 설치 튜닝 및 진동측정.
장비 IDLE 상태로 설치 튜닝 및 진동을 측정했습니다.
(정확한 튜닝과 진동 측정을 위해서는 장비 Turn off가 필요합니다.)
DVIA-MB1000을 노트PC와 연결하여 UI Program을 통한 튜닝, PULSE 22 장비를 이용한 진동 측정으로 점검 진행했습니다.
시스템 정보
Model: DVIA-MB1000
Serial Number: 231128R4
엔지니어
Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS
Inspection Date
January 9, 2024
보고서 작성일
February 1, 2024
설치 장소
ZEISS KOREA Innovation Center, 화성
장비
ZEISS FIB-SEM Crossbeam 550
튜닝 횟수
1st tuning
장비 상태
Equipment is installed / Idle
장비 스펙
측정 장비
10.1) PULSE 22
Hardware: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040
Software: LapShop Application(PULSE Lapshop)
10.2) Measurement Setting
Bandwidth: 0 – 200 Hz
Lines: 801
Analyzer: FFT Spectrum Averaging
Signal Units:
Spectral Units: RMS
10.3) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
결론
상부(Top plate), 하부(Floor)에 진동 측정용 가속도 센서를 부착하여 X, Y, Z축 측정을 통해 VC Curve, Transmissibility curve를 표기하였습니다.
Z축 진동 측정 결과 저주파대역(10Hz 이하) 8Hz에서 지반 진동이 VC-E(2.87E-06 m/s rms)가 측정되지만 DVIA-MB1000이 VC-G로 진동이 감쇠합니다. 고주파대역(10Hz 초과) 13Hz에서 지반 진동이 VC-D(3.96E-06 m/s rms)가 측정되지만, DVIA-MB1000에서 VC-G까지 감쇠합니다.
X축 진동 측정 결과 저주파대역(10Hz 이하)에서 VC-G가 유지됩니다. 고주파대역(10Hz 초과) 13Hz에서 지반 진동 VC-F(1.05E-06 m/s rms)가 측정되지만 DVIA-MB1000에서 VC-G까지 감쇠합니다.
Y축 진동 측정 결과 모든 주파수 대역에서는 VC-G가 유지됩니다.
VC-G, VC-F 수준은 High-end FIB-SEM에서 요구하는 진동 스펙입니다.
진동 결과 요약
| 측정 위치 | Z축(수직) 1-10 Hz | Z축(수직) 12.5-80 Hz | X축(좌우) 1-10 Hz | X축(좌우) 12.5-80 Hz | Y축(전후) 1-10 Hz | Y축(전후) 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | E(✓ PASS) | D(✗ FAIL) | G(✓ PASS) | F(✓ PASS) | G(✓ PASS) | G(✓ PASS) |
| Active | G(✓ PASS) | F(✓ PASS) | G(✓ PASS) | G(✓ PASS) | G(✓ PASS) | G(✓ PASS) |
데이터 및 이미지
13.1 Transmissibility Curve (UI Program)
Z axis (Vertical) Transmissibility
저주파대역(10Hz 이하) 2Hz에서 -32.7dB로 지반진동을 97% 이상 감쇠합니다.
10Hz대역에서 -30dB로 96% 이상의 지반진동 감쇠 Performance를 보입니다.
Z axis (Vertical) VC Curve
진동 측정 결과 저주파대역(10Hz 이하)의 가장 진동이 큰 8Hz에서 VC-E(2.87E-06 m/s rms)가 VC-G로 감쇠 되었습니다. 고주파대역(10Hz 초과) 13Hz에서 지반 진동이 VC-D(3.96E-06 m/s rms)가 측정되지만, DVIA-MB1000에서 VC-G(9.59E-08 m/s rms)까지 감쇠합니다. 55Hz, 60Hz에서 Peak형태의 노이즈의 영향으로 DVIA-MB1000의 측정 값이 VC-F까지 상승합니다. 나머지 주파수 대역에서는 VC-G가 유지됩니다.
X axis (Left to Right) Transmissibility
저주파대역(10Hz 이하)2Hz에서 -22.7dB로 지반진동을 92%이상 감쇠합니다.
10Hz에서 -34.9dB로 98%이상의 지반진동 감쇠 Performance를 보입니다.
X axis (Left to Right) VC Curve
진동 측정 결과 저주파대역(10Hz 이하)의 가장 진동이 큰 8Hz에서 VC-G(4.48E-07 m/s rms)가 DVIA-MB1000 측정 부에서 VC-G(9.24E-08 m/s rms)로 감쇠 되었습니다.
고주파대역(10Hz 초과) 13Hz에서 지반 진동이 VC-F(1.05E-06 m/s rms)가 측정되지만, DVIA-MB1000에서 VC-G(4.60E-08 m/s rms)까지 감쇠합니다. 50Hz, 63Hz에서 Peak 형태의 노이즈가 측정되지만 VC-G가 유지됩니다.
Y axis (Front to Back) Transmissibility
저주파대역(10Hz 이하)2Hz에서 -24.5dB로 지반진동을 94%이상 감쇠합니다.
10Hz에서 -34.1dB로 98%이상 지반진동 감쇠 Performance를 보입니다.
Y axis (Front to Back) VC Curve
진동 측정 결과 저주파대역(10Hz 이하)과 고주파대역(10Hz 초과) 모든 대역에서 VC-G입니다.
모든 대역 동일한 VC-G이지만, 저주파대역의 지면 4Hz(6.72E-07 m/s rms)에서 DVIA-MB1000 상부 측정부에서 4Hz(6.99E-08 m/s rms)까지 감쇠하면서 모든 주파수 대역에서 지반진동을 감쇠합니다.
55Hz, 60Hz에서 Peak 형태의 노이즈가 측정되지만 VC-G가 유지됩니다.
Transmissibility Graph
Data Physics QUATTRO 장비를 이용하여 DVIA-MB1000의 Top plate와 하부 Floor에 진동 가속도
센서를 부착합니다.
1Hz - 100Hz에서 측정한 값을 이용하여 Transmissibility Graph를 표시할 수 있습니다.
Transmissibility(진동 전달률) = 상부 부착 센서의 진동 측정 값 하부 부착 센서의 진동 측정 값
저주파 대역(10Hz 이하)의 1.5Hz 이하에서 매우 작은 지반 진동(VC-G)으로 인해 다소 낮은
전달률을 보이지만 나머지 대역에서는 70% - 90% 감쇠율이 유지됩니다.
X, Z 축의 55Hz, 60Hz에서 Peak 형태의 전기 노이즈, 장비 진동이 측정됩니다.
(정확한 튜닝과 진동 측정을 위해서는 장비 Turn off가 필요합니다.)
설치 사진
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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