YIMO China business trip report — DVIA-T65 service and DVIA-P4000 setup at Tier-1 Semiconductor (March 2023)

YIMO Tech — 중국 출장 보고서

출장 목표: DVIA-T65(220210R1-1) 점검 수리 및 진동측정; DVIA-P4000 Setup 및 진동측정.

2023.03.20(월) — 출장 공구 및 부품 점검; 중국 VISA 발급 수령(기흥 하나투어); 인천–필리핀 니노이 아키노 공항 이동(경유).

2023.03.21(화) — 상해 푸동 공항 이동; YIMO Tech TIM CHEN 픽업·호텔; YIMO Tech Office; DVIA-T65(220210R1-1) 수리 및 성능 측정(§1).

2023.03.22(수) — Tier-1 Semiconductor(Wuxi) Installation Site; P4000 배관·Controller·튜닝·진동측정·케이블 통로 조치·Factory Test 대조·IDE Active 확인·대책 회의·일정 연장(§2).

2023.03.23(목) — Filter 적용 Test; 다조건 진동 측정 데이터 수집(§2).

증상: Auto leveling 시 4개의 스프링 중 1개가 하강 후 상승하지 않음; Locking 시 4개의 스프링 모두 상승 — 리미트 스위치 파손으로 판단.

수리: 커버 분리 후 리미트 스위치 확인, 파손 확인 후 부품 교체 수리.

진동측정 요약:

정상 작동 확인 후 재 조립.

Installation Site: Tier-1 Semiconductor(Wuxi). Passive, P4000 Unit Air 배관 구성·Controller 배치·Cable 연결; Floating 및 Feedback, Feedforward 튜닝.

상부 ASML 장비 On 상태이기 때문에 깔끔한 Phase, Transmissibility 그래프가 출력되지 않음. 10~20Hz 사이에 0 dB이상으로 올라가는 Resonance 현상 발생.

7.3.5 진동 측정:

진동측정 결과 10~25Hz 대역에서 바닥보다 상판의 진동이 크게 측정됨.

ASML 장비 상단 Cable 통로 조치 후에도 20Hz 부근 Resonance 확인.

Factory Test에서는 해당 증상 없음 — 제품 문제 아닌 것으로 판단.

2023.03.23 Filter 적용 Test — Feedback gain값을 줄여 피크를 줄이는 것에 초점.

오전 — P4000 Passive 상태로 P4000상판 - IDE Isolator상판 측정:

P4000 Active 상태로 P4000상판 - IDE Isolator상판 측정:

오후 — P4000 Passive 상태로 바닥 - P4000상판 측정:

P4000 Passive 상태로 P4000상판 – IDE Isolator상판 측정(오후):

P4000 Active 상태로 바닥 - P4000상판 측정:

P4000 Active 상태로 바닥 – IDE Isolator상판 측정:

리미트 스위치가 파손되어 교체 수리, 성능 정상.

ASML장비의 측정 부(IDE Active isolator 위)에서의 진동측정 결과 Z축 VC-G / X, Y축: VC-E 장비사용 스펙인 VC-D를 충분히 만족함.

DVIA-P4000제품 20Hz 피크(공진봉)문제점은 해결하지 못한 상태. 제품 위 설치된 장비의 전원이 켜져 있어 정확한 판단을 하기 어려우나, Factory Test에서 설치된 장비 환경 및 장비의 고유 진동주파수로 추정이 됨. 다음 수주(DVIA-P4000)건 ASML 동일 장비가 있다면, 장비가 설치되기 전 1차 튜닝 Process가 필요함.

2단 ACTIVE 제품(P4000, IDE Active Isolator)이 설치되어 있는 상황. YIMO TECH측 설치되는 장비의 ACTIVE가 적용 되어있는 것을 파악하지 못한 상태로 장비 설치 완료. ASML 엔지니어가 장비 구동 중에만 IDE Active isolator가 Active 동작하는 것으로 보이고 Active off 상태에서도 P4000의 Resonance 현상이 발생하므로 원인이 아닌 것으로 판단됨. 진동측정 결과 2단 Active 사용함에도 발진 현상 일어나지 않음. 2단 ACTIVE의 안정성 및 적용 유무에 따른 Resonance에 대한 연구가 필요하므로 먼저 SHOWA 측에 해당 현상에 대한 문의 예정.

Active : IDE-ATAN module series — ATAN100, ATAN300 , ATAN500.

ATAN-100_하중: 600kg ~ 1800kg; ATAN-300_하중: 1000kg ~ 2500kg; ATAN-500_하중: 2000kg ~ 6000kg.

ASML장비의 적용된 Active제품: ATAN-300제품으로 추측됨.