설치 보고서
DVIA-P Series
03-27-2023
Hua Hong Semiconductor (Wuxi) ASML eScan500 DVIA-P4000 (221227R2) Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
Hua Hong Semiconductor
Wuxi
ASML
eScan500
DVIA-P4000
221227R2
Contents
End User
HUA HONG SEMICONDUCTOR(WUXI) LIMITED
대상 장비
ASML eScan500
설치 장소
WUXI
비고
Good Performance
설치 담당
Yu, Ho sang / Lee, Young ha
설치 일자
23.03.22~23
보고서 작성일
23.03.27
출장 일정
Date of business trip : 17.12.27~17.12.29
개요
DVIA-P4000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.
Measurement date: 2023.03.22~23 (Wednesday, Thursday)
Operator: DAEIL SYSTEMS, Hosang Yu, Youngha Lee
Place of measurement: WUXI
Equipment Model: ASML eScan500
제진 시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 221227R2
측정 결과 요약
| Measurement Point | Z-axis (Vertical)1-10 Hz | Z-axis (Vertical)12.5-80 Hz | X-axis (Left to Right)1-10 Hz | X-axis (Left to Right)12.5-80 Hz | Y-axis (Front to Back)1-10 Hz | Y-axis (Front to Back)12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Turn off | D | C | D | D | D | D |
| Turn on | F | D | E | D | F | D |
옥타브 밴드 결과
Z축 속도 RMS 그래프
Z축 가속도 RMS 그래프
X축 속도 RMS 그래프
X축 가속도 RMS 그래프
Y축 속도 RMS 그래프
Y축 가속도 RMS 그래프
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일03-27-2023
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Hua Hong Semiconductor
Wuxi
ASML
eScan500
DVIA-P4000
221227R2
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