설치 보고서
DVIA-M Series
05-16-2026
TESCAN Korea LB Semicon Amber X GMH DVIA-MB1000 (221202R2) Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
TESCAN Korea
DVIA-MB1000
AMBER X GMH
Contents
개요
DVIA-MB1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.
시스템 정보
모델: DVIA-MB1000
시리얼 넘버: 221202R2
담당 엔지니어
Sangjae Lee, Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
2023년 7월 25일
보고서 작성일
2023년 7월 25일
출장 일자
17.12.27~17.12.29
설치 위치
LB세미콘 4F 클린룸, 평택
장비
AMBER X GMH
진동 결과 요약
| 측정 지점 | Z축 (수직) 1-10 Hz | Z축 (수직) 12.5-80 Hz | X축 (좌우) 1-10 Hz | X축 (좌우) 12.5-80 Hz | Y축 (전후) 1-10 Hz | Y축 (전후) 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | B | B | C | E | B | E |
| Active | D | E | E | E | F | F |
데이터 및 이미지
Z축 (수직) VC 곡선
Z축 (수직) 전달률
X축 (좌우) VC 곡선
X축 (좌우) 전달률
Y축 (전후) VC 곡선
Y축 (전후) 전달률
Reference
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일05-16-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
TESCAN Korea
DVIA-MB1000
AMBER X GMH
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