본문으로 바로가기
설치 보고서
DVIA-M Series
03-07-2023

Vanderbilt University Zeiss Crossbeam 550 DVIA-MB1000 Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
Zeiss
Crossbeam 550
Vanderbilt University

목차

개요

The DVIA-MB1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

시스템 정보

모델: DVIA-MB1000-1000X1200X224H

시리얼 번호: 220908R2

엔지니어

Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 날짜

2023년 3월 2일

보고서 작성일

2023년 3월 7일

설치 장소

Room 051, Engineering and Science Building, Vanderbilt University

고객사 장비

Zeiss Crossbeam 550

데이터 및 이미지

UI 프로그램 전달률

Z axis

X Axis

Y Axis

VEC 측정

Z-axis (Vertical) Transmissibility with Vibration

Z-axis (Vertical) Floor VC Curve with Vibration

Z-axis (Vertical) Active VC Curve with Vibration

X-axis (Left to Right) Transmissibility with Vibration

X-axis (Left to Right) Floor VC Curve with Vibration

X-axis (Left to Right) Active VC Curve with Vibration

Y-axis (Front to Back) Transmissibility with Vibration

Y-axis (Front to Back) Floor VC Curve with Vibration

Y-axis (Front to Back) Active VC Curve with Vibration

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일03-07-2023
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
Zeiss
Crossbeam 550
Vanderbilt University

관련 케이스 스터디

ZEISS Crossbeam 550 DVIA-MB1000 (221012R4) Installation Report
DVIA-M Series

ZEISS Crossbeam 550 DVIA-MB1000 (221012R4) Installation Report

05-16-2026자세히
Tier-1 Semiconductor Zeiss Gemini 2 FE-SEM DVIA-MB1000 (231128R4) Installation Report
DVIA-M Series

Tier-1 Semiconductor Zeiss Gemini 2 FE-SEM DVIA-MB1000 (231128R4) Installation Report

05-29-2025자세히
ZEISS Korea Innovation Center DVIA-MB1000 (231128R4), ZEISS FIB-SEM Crossbeam 550 Installation Report
DVIA-M Series

ZEISS Korea Innovation Center DVIA-MB1000 (231128R4), ZEISS FIB-SEM Crossbeam 550 Installation Report

02-01-2024자세히