설치 보고서

01-25-2023

NIH Dennis Winkler TESCAN Amber X DVIA-MB1000 VEC (220826R2) 설치 보고서 — 2023.01.25

DVIA-M Series

Installation Report

VEC

DVIA-MB1000

NIH

TESCAN

AMBER X

220826R2

Prepared for

NIH

Dennis Winkler

Prepared by

Engineer: Youngha Lee Tuning date: 23.01.18 Report written date: 23.01.25 | Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

DVIA-MB1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.

시스템 정보

Model: DVIA-MB1000

Serial Number: 220826R2

Engineer

Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS

Tuning Date

January 18, 2023

Location

Bldg 35A, Room 1F – 351, 35A Convent Drive / Bethesda, MD 20892

Equipment

Tescan Amber X

VEC Measuring Equipment

데이터 및 이미지

Z-axis (Vertical) Transmissibility

이미지 2 · NIH Dennis Winkler TESCAN Amber X DVIA-MB1000 VEC (220826R2) 설치 보고서 — 2023.01.25

X-axis (Left to Right) Transmissibility

이미지 3 · NIH Dennis Winkler TESCAN Amber X DVIA-MB1000 VEC (220826R2) 설치 보고서 — 2023.01.25

Y-axis (Front to Back) Transmissibility

이미지 4 · NIH Dennis Winkler TESCAN Amber X DVIA-MB1000 VEC (220826R2) 설치 보고서 — 2023.01.25

Z-axis (Vertical) Vibration measurement — Floor

이미지 5 · NIH Dennis Winkler TESCAN Amber X DVIA-MB1000 VEC (220826R2) 설치 보고서 — 2023.01.25

Z-axis (Vertical) Vibration measurement — Top

이미지 6 · NIH Dennis Winkler TESCAN Amber X DVIA-MB1000 VEC (220826R2) 설치 보고서 — 2023.01.25

Z-axis (Vertical) Vibration measurement — Transmissibility

이미지 7 · NIH Dennis Winkler TESCAN Amber X DVIA-MB1000 VEC (220826R2) 설치 보고서 — 2023.01.25

X-axis (Left to Right) Vibration measurement — Floor

이미지 8 · NIH Dennis Winkler TESCAN Amber X DVIA-MB1000 VEC (220826R2) 설치 보고서 — 2023.01.25

X-axis (Left to Right) Vibration measurement — Top

이미지 9 · NIH Dennis Winkler TESCAN Amber X DVIA-MB1000 VEC (220826R2) 설치 보고서 — 2023.01.25

X-axis (Left to Right) Vibration measurement — Transmissibility

이미지 10 · NIH Dennis Winkler TESCAN Amber X DVIA-MB1000 VEC (220826R2) 설치 보고서 — 2023.01.25

Y-axis (Front to Back) Vibration measurement — Floor

이미지 11 · NIH Dennis Winkler TESCAN Amber X DVIA-MB1000 VEC (220826R2) 설치 보고서 — 2023.01.25

Y-axis (Front to Back) Vibration measurement — Top

이미지 12 · NIH Dennis Winkler TESCAN Amber X DVIA-MB1000 VEC (220826R2) 설치 보고서 — 2023.01.25

Y-axis (Front to Back) Vibration measurement — Transmissibility

이미지 13 · NIH Dennis Winkler TESCAN Amber X DVIA-MB1000 VEC (220826R2) 설치 보고서 — 2023.01.25

장비 사진

이미지 14 · NIH Dennis Winkler TESCAN Amber X DVIA-MB1000 VEC (220826R2) 설치 보고서 — 2023.01.25

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	상세 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리