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설치 보고서
DVIA-M Series
02-10-2021

KIST TESCAN AMBER X DVIA-MB1000 (P219) Installation and Measurement — 2021.02.10

DVIA-M Series
Installation Report
KIST
TESCAN
AMBER X
DVIA-MB1000
P219

목차

(MB1000_P219 Set up)

Target equipmentTESCAN-AMBER X
Place of installationL0 2층 건물
RemarkGood Performance
END USER한국과학기술연구원
Operator: Choi, HyoungMunDate of business trip : 17.12.27~17.12.29
Date of setup : 21.02.09
Date of reporting : 21.02.10

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

측정 일자

Measurement date: 21.02.19 (TUE)

Operator

Operator: Daeil System, Research engineer Choi, HyoungMun

측정 장소

Place of measurement : L0 2층 218호

Equipment Model

Equipment Model: TESCAN-AMBER X

측정 조건 및 결과

Measurement conditions and results

DAQ System : B&K PULSE 14 & LAN-XI Type 3056

Accelerometer : PCB PIEZOTRONICS 393B05

Frequency Range : 0.7 ~ 200Hz

B&K LAN-XI Type 3056

PCB Piezotronics Model 393B05

B&K PULSE LabShop workspace

측정 결과 요약

Test ConditionVC-Class ZVC-Class XVC-Class Y
FloorACD
Above ActiveFGG

Good omnidirectional performance.

MB1000 internal program performance measurement result

Z axis - internal program

X axis - internal program

Y axis - internal program

Vibration Criterion Curve

※ Vibration Criterion Curve

Z axis - VC comparison

X axis - VC comparison

Y axis - VC comparison

Reference

Generic Vibration Criteria

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		Detail Size
μm
Workshop (ISO)사람이 분명히 진동을 느낄 수 있는 수준. 작업장 등 비민감 구역에 적합합니다.800 (32,000)N/A
Office (ISO)사람이 진동을 느낄 수 있는 수준. 사무실 등 비민감 구역에 적합합니다.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)사람이 진동을 거의 느끼지 못하는 수준. 대부분의 수면 공간 등에 적합합니다.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)사람이 진동을 느끼지 못하는 수준. 수술실, 최대 약 100배 광학현미경 등에 적합합니다.100 (4,000)25
VC-A최대 약 400배 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학 밸런스 등에 적합합니다.50 (2,000)8
VC-B선폭 약 3µm 이하 리소그래피·검사 장비 등에 적합합니다.25 (1,000)3
VC-C최대 약 1000배 광학현미경, 선폭 약 1µm 리소그래피 장비 등에 적합합니다.12.5 (500)1 - 3
VC-DSEM/TEM 등 고사양 전자현미경을 포함한 요구 높은 장비에 적합합니다.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 장비에 해당합니다.3.12 (125)< 0.1
VC-F극저소음 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않습니다.1.56 (62.5)N/A
VC-G극저소음 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않습니다.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz 1/3옥타브 밴드, VC-C–G는 1–80 Hz 1/3옥타브 밴드에서 측정한 값입니다.

2. Detail size는 마이크로전자 소자의 선폭이나 의료·바이오 분야에서는 입자 크기 등을 가리킵니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일02-10-2021
태그
DVIA-M Series
Installation Report
KIST
TESCAN
AMBER X
DVIA-MB1000
P219

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