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설치 보고서
DVIA-M Series
08-11-2022

Shanghai Veterinary Research Institute DVIA-M1000 Installation Report (220714R2)

DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-M1000
Shanghai Veterinary Research Institute
CAAS

개요

DVIA-M1000 능동 제진대는 의도대로 설치·작동합니다.

설치·보고 정보

대상 장비: TBD

설치 장소: 상하이(上海)

비고: Good Performance

엔드 유저: Shanghai Veterinary Research Institute, CAAS(中国农业科学院上海兽医研究所)

담당자: Yu, Ho Sang

설치 일자: 22.08.09

보고 일자: 22.08.11

출장 일자: 17.12.27~17.12.29

측정 일자: 2022.08.09 (화요일)

측정 담당: DAEIL SYSTEMS, Hosang Yu

측정 장소: 상하이(上海)

장비 모델: TBD

측정 요약

시험 조건: VC-Class

ZXY
바닥(Floor)CBC
액티브 상부(Above Active)CBD

Good omnidirectional performance.

데이터 및 이미지

(M1000_ 220714R2 Set up)

Z축 — MB1000 프로그램

X축 — MB1000 프로그램

Y축 — MB1000 프로그램

Z축 — 옥타브 밴드

X축 — 옥타브 밴드

Y축 — 옥타브 밴드

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일08-11-2022
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-M1000
Shanghai Veterinary Research Institute
CAAS