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설치 보고서
DVIA-M Series
07-01-2026

Zhongju Core Quzhou Technology Hitachi High-Tech SU-8600 SEM DVIA-M1000 Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Zhongju Core Quzhou Technology
Hitachi High-Tech
SU-8600
DVIA-M1000
250320R4
Quzhou City

Contents

개요

Quzhou City에 DVIA-M1000 설치 후 튜닝 및 진동 측정을 수행했습니다.

진동 측정은 장비가 IDLE 상태에서 수행되었습니다.

데이터는 VC Curve 형식으로 표현되며, 진동 수준에 대한 참고 자료가 함께 제공됩니다.

진동 제어 시스템 정보

Model: DVIA-M1000

Serial Number: 250320R4

엔지니어

Taehun KIM, DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2026년 05월 18일

End User

Zhongju Core Quzhou Technology Co., Ltd.

튜닝 횟수

1st

설치 위치

Quzhou City

장비

Manufacturer: Hitachi High-Tech

Equipment: SEM

Model: SU-8600

진동 사양

Horizontal

Frequency [Hz]Limit [µm pk-pk]
18
1.53
21.4
2.41.4
33
54
63.5
103.5

Vertical

Frequency [Hz]Limit [µm pk-pk]
120
210
35
42.7
51.8
61
71
101

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

Tuning Request

N/A

측정 요약

Measurement PointVibration SpecificationAxisFloorDVIA-M1000
1. Floor
2. DVIA-M1000		See Section 9Vertical✓ PASS✓ PASS
Left to Right✓ PASS✓ PASS
Front to Back✓ PASS✓ PASS

데이터 및 이미지

Vertical Autospectrum

Left to Right Autospectrum

Front to Back Autospectrum

Installation Photo

참고자료

아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준 진동 수준을 분류한 것입니다.

기준 곡선설명진폭(μm/s) (μin/s)세부 크기(μm)
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간, 컴퓨터 장비, 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비, 40배 미만 현미경에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 대부분의 수술실, 100배율 이하 현미경 및 기타 저민감도 장비에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울, 근접·투영 정렬 장비 등에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피(스테퍼 포함) 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 세부 크기의 리소그래피·검사 장비(중간 민감도 전자현미경 포함), TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정에 적합한 표준.12.5 (500)1-3
VC-D전자현미경(SEM/TEM), E-Beam 시스템 등 까다로운 장비 대부분에 적합.6.25 (250)0.1-0.3
VC-E달성하기 까다로운 기준. 장경로·레이저 기반·소형 타겟 시스템, 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 극도로 까다로운 민감 시스템에 적합할 것으로 가정.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장.0.78 (31.3)N/A

참고:

1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일07-01-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Zhongju Core Quzhou Technology
Hitachi High-Tech
SU-8600
DVIA-M1000
250320R4
Quzhou City

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