설치 보고서
DVIA-M Series
07-04-2026
Changdi New Materials Technology Hitachi High-Tech SU3800SE FE-SEM DVIA-ML1000 Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
Changdi New Materials Technology
Hitachi High-Tech
SU3800SE
DVIA-ML1000
260110R2
Shanghai
Contents
개요
Shanghai에 DVIA-ML1000 설치 후 튜닝 및 진동 측정을 수행했습니다.
진동 측정은 장비가 IDLE 상태에서 수행되었습니다.
데이터는 VC Curve 형식으로 표현되며, 진동 수준에 대한 참고 자료가 함께 제공됩니다.
진동 제어 시스템 정보
Model: DVIA-ML1000
Serial Number: 260110R2
엔지니어
Taehun Kim, DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
2026년 06월 29일
End User
Changdi New Materials Technology
튜닝 횟수
1st
설치 위치
Shanghai
장비
Manufacturer: Hitachi High-Tech
Equipment: FE-SEM
Model: SU3800SE
진동 사양
Horizontal
| Frequency [Hz] | Limit [µm pk-pk] |
|---|---|
| 2 | 1.5 |
| 3 | 1.6 |
| 5 | 3 |
| 8 | 2 |
| 10 | 1.3 |
Vertical
| Frequency [Hz] | Limit [µm pk-pk] |
|---|---|
| 2 | 10 |
| 3 | 5 |
| 5 | 2 |
| 8 | 1.5 |
| 10 | 3 |
장비 상태
IDLE
Tuning Request
N/A
측정 요약
| Measurement Point | Vibration Specification | Axis | Floor | DVIA-ML1000 |
|---|---|---|---|---|
| 1. Floor 2. DVIA-ML1000 | Refer to Vibration Specification | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
Vertical Autospectrum
Left to Right Autospectrum
Front to Back Autospectrum
Installation Photo
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준 진동 수준을 분류한 것입니다.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일07-04-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Changdi New Materials Technology
Hitachi High-Tech
SU3800SE
DVIA-ML1000
260110R2
Shanghai
