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설치 보고서
DVIA-M Series
09-01-2022

SJ SEMI ZEISS CROSSBEAM 350 DVIA-ML1000 Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
SJ SEMI
ZEISS
CROSSBEAM 350
DVIA-ML1000
SEM

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현장 오퍼레이터: Yu, Ho Sang

세팅일: 22.08.31

보고서 작성일: 22.09.01

1. 진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000 — 시리얼: 220407R5

2. 엔지니어

Yu, Ho Sang

3. 튜닝 일자

2022년 8월 31일

4. 보고서 작성일

2022년 9월 1일

5. 사용자

SJ SEMI(盛合晶微半导体江阴有限公司)

6. 설치 장소

JIANGYIN

7. 장비

대상 장비 / 모델: ZEISS CROSSBEAM350 — Manufacturer: ZEISS

비고: Good Performance

8. 장비 상태

N/A

9. 튜닝 횟수

N/A

10. 측정 장비

N/A

11. 측정 세팅

N/A

개요

The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

측정일: 2022.08.31 (수요일)

Operator: DAEIL SYSTEMS, Hosang Yu

측정 장소: JIANGYIN

장비 모델: ZEISS CROSSBEAM350

12. 측정 요약

테스트 조건ZXY
FloorBBB
Above ActiveFDE

Good omnidirectional performance.

13. 데이터·이미지

MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과 — Z축

MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과 — X축

MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과 — Y축

옥타브 밴드 결과 — Z축

옥타브 밴드 결과 — X축

옥타브 밴드 결과 — Y축

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일09-01-2022
태그
DVIA-M Series
Installation Report
SJ SEMI
ZEISS
CROSSBEAM 350
DVIA-ML1000
SEM

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