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설치 보고서
DVIA-ULF Series
04-21-2022

Korea Institute of Science and Technology (KIST) Microscope DVIA-UD350 (220127R1-1) Installation Report

DVIA-ULF Series
Installation Report
KIST
DVIA-UD350
Microscope
220127R1-1

작성 대상

KIST

작성자

엔지니어: Youngha Lee

튜닝 일자: 22.04.21

보고서 작성일: 22.04.21

출장 일자: 17.12.27~17.12.29

개요

DVIA-UD350 액티브 제진 플랫폼이 적절히 설치되어 의도대로 작동하고 있습니다.

시스템 정보

모델: DVIA-UD350

시리얼 번호: 220127R1-1

엔지니어

Youngha Lee, Seounghoon Cheon from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2022년 4월 21일

설치 장소

KIST BuildingL7 Room7223, Seongbuk-gu Seoul

장비

Microscope

진동 측정 요약

Z-axis (Vertical) / 1-10 HzZ-axis (Vertical) / 10-80 HzX-axis (Left to Right) / 1-10 HzX-axis (Left to Right) / 10-80 HzY-axis (Front to Back) / 1-10 HzY-axis (Front to Back) / 10-80 Hz
FloorGDGEGE
ActiveGGGGGG

데이터 및 이미지

Z축 (수직) VC 곡선

Z축 (수직) VC 곡선 (Active)

Z축 (수직) 전달률

X축 (좌우) VC 곡선

X축 (좌우) VC 곡선 (Active)

X축 (좌우) 전달률

Y축 (전후) VC 곡선

Y축 (전후) VC 곡선 (Active)

Y축 (전후) 전달률

참고자료

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz, VC-C~VC-G는 1–80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정합니다.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일04-21-2022
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DVIA-ULF Series
Installation Report
KIST
DVIA-UD350
Microscope
220127R1-1