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설치 보고서
DVIA-ULF Series
04-21-2022

Korea Institute of Science and Technology (KIST) Microscope DVIA-UD350 (220127R1-2) Installation Report

DVIA-U Series
Installation Report
KIST
DVIA-UD350
Microscope
220127R1-2

Contents

End User

KIST

Prepared by

N/A

Engineer

Engineer: Youngha Lee

Youngha Lee, Seounghoon Cheon from DAEIL SYSTEMS

Report written date

22.04.21

Date of business trip

17.12.27~17.12.29

개요

DVIA-UD350 액티브 제진 플랫폼이 적절히 설치되어 의도대로 작동하고 있습니다.

시스템 정보

Model: DVIA-UD350

Serial Number: 220127R1-2

튜닝 일자

Tuning date: 22.04.21

April 21, 2022

설치 장소

KIST BuildingL7 Room7223, Seongbuk-gu Seoul

장비

Microscope

진동 측정 요약

Z-axis (Vertical) / 1-10 HzZ-axis (Vertical) / 10-80 HzX-axis (Left to Right) / 1-10 HzX-axis (Left to Right) / 10-80 HzY-axis (Front to Back) / 1-10 HzY-axis (Front to Back) / 10-80 Hz
FloorDCGEGE
ActiveGGGGGG

데이터 및 이미지

Z-axis (Vertical) VC curves

Z-axis (Vertical) VC curves (Active)

Z-axis (Vertical) Transmissibility

X-axis (Left to Right) VC curves

X-axis (Left to Right) VC curves (Active)

X-axis (Left to Right) Transmissibility

Y-axis (Front to Back) VC curves

Y-axis (Front to Back) VC curves (Active)

Y-axis (Front to Back) Transmissibility

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일04-21-2022
태그
DVIA-U Series
Installation Report
KIST
DVIA-UD350
Microscope
220127R1-2

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