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설치 보고서
DVIA-ULF Series
12-31-2024

Korea Institute of Science and Technology (L7-222) Olympus BX51 DVIA-UD350 (220127R1-2) Installation Report

DVIA-U Series
Installation Report
KIST
Korea Institute of Science and Technology
Olympus
BX51
Microscope
DVIA-UD350
220127R1-2

작성자

엔지니어: 이채원, 서종화

측정 날짜

2024년 12월 23일

보고서 작성일

2024년 12월 31일

개요

한국과학기술연구원 L7동 222호에 설치된 DVIA-UD350에 이미지 흔들림 현상이 발생하여 점검 및 튜닝

진행 하였습니다.

장비 안착 후 장비 Turned off 상태로 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.

DVIA-UD350 점검 결과 Y1 Sensor에 이상이 있어 교체를 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-UD350

시리얼 넘버: 220127R1-2

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원, 서종화

설치 장소

한국과학기술연구원 L7 222호

End User

한국과학기술연구원 L7 222호

고객사 장비

Manufacturer: Olympus

Equipment: Microscope

Model: BX51

장비 진동 Spec

고객사 미제공 및 확인 불가

장비 상태

장비 설치 및 turned off

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

-Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

Bandwidth: 200 Hz

Lines: 3200

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Average Mode: Exponential, 40

결론

모든 방향, 모든 대역대에서 가장 낮은 진동 수준인 VC-G가 측정됩니다.

측정 데이터

측정 장소상태방향FloorDVIA-UD350
한국과학기술연구원
L7동 222호
1. Floor
2. DVIA-UD350
장비 Turned offVerticalVC-C
@ 31.5 Hz
VC-G
@ 31.5 Hz
Left to RightVC-F
@ 31.5 Hz
VC-G
@ 31.5 Hz
Front to BackVC-E
@ 1 Hz
VC-G
@ 1 Hz

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

참고자료

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일12-31-2024
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Installation Report
KIST
Korea Institute of Science and Technology
Olympus
BX51
Microscope
DVIA-UD350
220127R1-2