설치 보고서

04-19-2023

Hitachi SU8010(중산대학) DVIA-M1000 설치 보고서

DVIA-M Series

Installation Report

Hitachi

SU8010

SEM

DVIA-M1000

Sun Yat-sen University

Guangdong

설치 요약

플랫폼: DVIA-M1000 — 시리얼 220126R7-1 (M1000_ 220126R7-1 Set up)

대상 장비: HITACHI SU8010

설치 장소: GUANGDONG

비고: Good Performance

최종 사용자: SUN YAT-SEN UNIVERSITY

설치·보고 일정

Operator: Lee, Young Ha

Date of setup: 23.04.13

Date of reporting: 23.04.19

Date of business trip: 17.12.27~17.12.29

개요

The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

측정 정보

Measurement date: 2023.04.13 (Thursday),

Operator: DAEIL SYSTEMS, Youngha Lee

Place of measurement: GUANGDONG

Equipment Model: HITACHI SU8010

MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z축

이미지 1 · Hitachi SU8010(중산대학) DVIA-M1000 설치 보고서

X축

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Y축

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Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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