설치 보고서
DVIA-M Series
08-04-2021
Thermo Fisher Apreo DVIA-M1000 (210420R2) Installation Report — MacDermid Enthone — 2021.08.04
DVIA-M Series
Installation Report
MacDermid Enthone
Thermo Fisher Scientific
Apreo
FIB-SEM
DVIA-M1000
210420R2
목차
Prepared for
MacDermid Enthone
Prepared by
Engineer: Chaewon Lee
Tuning date: 21.08.04
Report written date: 25.06.11
개요
The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
진동 제어 시스템 정보
Model: DVIA-M1000
Serial Number: 210420R2
Engineer
Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
August 04, 2021
튜닝 횟수
1st
최종 사용자
MacDermid Enthone
장비 상태
Manufacturer: Thermo Fisher Scientific
Equipment: FIB-SEM
Model: Apreo
The equipment is installed/IDLE
데이터 및 이미지
수직 전달률
좌우 전달률
전후 전달률
참고
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 상세 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일08-04-2021
태그
DVIA-M Series
Installation Report
MacDermid Enthone
Thermo Fisher Scientific
Apreo
FIB-SEM
DVIA-M1000
210420R2
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