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설치 보고서
DVIA-M Series
03-31-2026

Seoul National University Thermo Fisher Scientific Glacios DVIA-MB1000 (210121R5) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Seoul National University
Thermo Fisher Scientific
Glacios
DVIA-MB1000
210121R5

개요

서울대학교 유전공학연구소 1층 연구실에 설치된 DVIA-MB1000 튜닝 및 진동 측정 진행하였습니다.

장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동 측정 진행하였습니다.

튜닝 및 진동 측정 당시 장비에서 강한 진동이 발생 중이었습니다. 튜닝 및 진동 측정에 영향을 줄 수 있습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-MB1000

시리얼 넘버: 210121R5

설치 날짜

26.03.26

보고서 작성일

26.03.31

작성자

N/A

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

튜닝 날짜

2026년 3월 26일

설치 장소

서울대학교 유전공학연구소 1층 연구실

End User

서울대학교

고객사 장비

Manufacturer: Thermo Fisher Scientific

Equipment: Cryo-TEM

Model: Glacios

장비 스펙

장비상태

장비 설치 및 Turned on/IDLE

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Averaging mode: Exponential, 40

결론

모든 방향에서 25 Hz 주기로 장비에서 강한 진동이 발생하고 있습니다.

제진대는 바닥 진동 절연을 목적으로 하는 장치로, 장비에서 자체적으로 발생하는 진동에 대해서는 저감 효과에 한계가 있습니다.

장비 진동이 영향을 주는 대역대를 제외하면 모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.

측정 데이터

측정 장소상태방향진동 스펙측정값측정값측정결과측정결과
바닥진동DVIA-MB1000바닥진동DVIA-MB1000
서울대학교 유전공학연구소 1층 연구실
1. 바닥진동
2. DVIA-MB1000
Turned on/IDLEVerticalVC-EVC-B @ 12.5 HzVC-G @ 12.5 HzFAILPASS
Left to RightVC-FVC-E @ 10 HzVC-G @ 10 HzFAILPASS
Front to BackN/AVC-D @ 8 HzVC-G @ 8 HzFAILPASS

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

설치 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일03-31-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Seoul National University
Thermo Fisher Scientific
Glacios
DVIA-MB1000
210121R5