본문으로 바로가기
설치 보고서
DVIA-M Series
02-26-2024

Seoul National University Thermo Fisher SEM Apreo 2 DVIA-MB1000 Installation Report — 2024.02.26

DVIA-M Series
Installation Report
Seoul National University
Thermo Fisher Scientific
SEM Apreo 2
DVIA-MB1000
200109R2

준비처

서울대학교

작성

Engineer: Jongwon Park, Chaewon Lee

Installation date: 24.02.07

Report written date: 24.02.26

개요

서울대학교 치과대학 전자현미경실에서 치학연구소 공용기기실로 이전설치 진행했습니다.

DVIA-MB1000을 PC와 연결하여 UI Program을 통한 설치 튜닝, 진동측정 장비를 이용한 점검 진행했습니다.

Equipment Turn off 상태에서 설치 튜닝 및 진동을 측정했습니다.

시스템 정보

Model: DVIA-MB1000

Serial Number: 200109R2

엔지니어

Jongwon Park, Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS

설치 날짜

February 07, 2024

설치 장소

서울대학교 치과대학, 서울

장비

Thermo Fisher Scientific SEM Apreo 2

튜닝 횟수

2회차(이전설치 후 첫 튜닝)

Equipment Condition

Equipment is installed / Turned off

측정 장비

9.1) Data Physics

Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

9.2) Measurement Setting

Bandwidth: 1 - 80Hz

Lines: 800

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Engineering Units: m/s

9.3) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

9.4) Measurement Method

상부(Top plate), 하부(Floor)에 진동 측정용 가속도 센서를 부착합니다.

Vertical, Left to Right, Front to Back 방향으로 진동을 측정합니다.

측정 Data를 VC Curve Graph에 표기하였습니다.

결론

Vertical 방향에서 모든 주파수 대역의 지반진동이 VC-G까지 감쇠 되었으며 63 Hz에서는 지반진동 VC-D에서 VC-G까지 감쇠되었습니다.

Left to Right, Front to back 방향에서 모든 주파수 대역의 지반진동이 VC-G까지 감쇠되었습니다.

모든 방향에서 DVIA-MB1000의 진동이 VC-G를 만족합니다.

측정 결과 요약

측정 위치Vertical 1-10 HzVertical 12.5-80 HzLeft to Right 1-10 HzLeft to Right 12.5-80 HzFront to Back 1-10 HzFront to Back 12.5-80 Hz
FloorGDGFFF
DVIA-MB1000GGGGGG

데이터 및 이미지

UI Program Transmissibility

세로 방향 전달률

10 Hz에서 -22 dB(92%) 이상의 지반진동 감쇠 Performance를 보입니다.

좌우 방향 전달률

10 Hz에서 -23 dB(95%) 이상의 지반진동 감쇠 Performance를 보입니다.

전후 방향 전달률

10 Hz에서 -22.5 dB(92%) 이상의 지반진동 감쇠 Performance를 보입니다.

12.2 진동 측정

세로 방향 VC 곡선 (rms Velocity, m/s)

63 Hz에서 지반 진동이 VC-E(3.23E-06)가 측정되지만 DVIA-MB1000에서 VC-G(3.59E-07)까지 감쇠합니다.

좌우 방향 VC 곡선 (rms Velocity, m/s)

전후 방향 VC 곡선 (rms Velocity, m/s)

설치 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일02-26-2024
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Seoul National University
Thermo Fisher Scientific
SEM Apreo 2
DVIA-MB1000
200109R2