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설치 보고서
DVIA-M Series
01-27-2015

Seoul National University — M-1000 P3 vibration environment measurement after service (ZEISS equipment, 2015-01-27)

DVIA-M Series
Installation Report
M1000 P3
Seoul National University
Carl Zeiss
Vibration measurement

진동환경측정결과 ( 서울대학교 정밀기계 공동연구동 )

개요

M-1000 P3 제진대 문제현상 조치 후 진동환경이 장비 사용 요건을 충족하는지 파악하기 위함.

측정일 : 2015. 1. 27(수), 측정자 : 최성원

3. 측정 조건 및 결과

칼자이스 탑재장비 가동 중.

센서 위치는 제진대 상판 전면과(top) 제진대 전면 바닥(base)으로 하고 가진 없이 측정.

측정 배치

결과 요약

Test DirectionVC-ClassBaseTop
ACTIVEZBG
XEG
YFG

제진대 자체성능 양호

액티브 시 제진대 상판 진동환경 G Class로 양호

OCTAVE BAND

Active Z

Active X

Active Y

4. 작업 내역

문제현상 파악: SEM 이미지 상 진동으로 추정되는 노이즈가 발견되며, 컨트롤러의 VIB 램프가 동작하지 않음.

조치: 통신 프로그램 연결하여 상태 확인한 결과 컨트롤러가 다운되어 있는 것을 확인. 컨트롤러 리셋 후 정상 동작함을 확인.

컨트롤러 다운 원인은 낙뢰나 정전 등으로 추정되며, 동일 문제 발생 시 전원을 껐다가 다시 켜서 동작시키도록 사용자에게 설명하였음.

기타 작업내용:

패시브 부상 상태 확인 – 이상 없음

컨트롤러 배선 상태 확인 – 이상 없음

제어기 안정도 및 성능 확인 – 이상 없음

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일01-27-2015
태그
DVIA-M Series
Installation Report
M1000 P3
Seoul National University
Carl Zeiss
Vibration measurement