설치 보고서
DVIA-M Series
06-12-2014
Seoul National University — ZEISS Gemini M-1000 P3 vibration environment measurement (2014-06-12)
DVIA-M Series
Installation Report
M1000 P3
Seoul National University
Carl Zeiss
ZEISS Gemini
Vibration measurement
Contents
진동환경측정결과 (서울대학교 정밀기계 공동연구동)
개요
M-1000 P3 제진대 적용 후 진동환경이 사용자의 요구 조건을 충족하는지 파악하기 위함.
측정일 : 2014. 6. 12(목), 측정자 : 최성원
3. 측정 조건 및 결과
칼자이스 탑재장비 가동 중에 튜닝 및 진동측정 하였음.
측정 위치는 제진대 상판 측면과(top) 제진대 부근 바닥(base)으로 하였음.
현장 사진 1
현장 사진 2
결과 요약
| 시험 방향 | Base | Top | Transmissibility [dB@10Hz] |
|---|---|---|---|
| ACTIVE Z | D | G | -30.8 |
| ACTIVE X | E | G | -34.7 |
| ACTIVE Y | F | G | -34.3 |
제진대 자체성능 전방향 -30dB로 양호
액티브 시 제진대 상판 진동환경 G Class로 양호
SEM 자체 내장 패시브로 인하여 1~6Hz 성능에 영향이 있을 수 있으나 측정결과 문제되지 않는 것으로 확인됨
전달률 그래프
전달률 (Z·X 축)
전달률 (Y 축)
OCTAVE BAND
1/3 옥타브 밴드 (Active Z·Active X)
1/3 옥타브 밴드 (Active Y)
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일06-12-2014
태그
DVIA-M Series
Installation Report
M1000 P3
Seoul National University
Carl Zeiss
ZEISS Gemini
Vibration measurement
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