설치 보고서

DVIA-ULF Series

10-14-2020

Lemoneyex SN3-4500M Plus UD350 Vibration Measurement Report (2020-10-14)

DVIA-UD350

DVIA-U Series

Installation Report

Lemoneyex

Vibration Measurement

B&K PULSE

SN3-4500M Plus

201014

레모넥스 진동측정 보고서

측정 위치

장소 – 레모넥스 기업부설연구소 4층

측정일: 2020.10.14 (월), 측정자: 대일시스템 김두현 과장, 노문호 주임

측정 위치 – UD350 제진대 상부 및 바닥에서 진동 측정

진동 측정 장비

4. 진동 측정 장비

DAQ System : B&K PULSE 14 & LAN-XI Type 3056

Accelerometer : PCB PIEZOTRONICS 393B05

Frequency Range : 0.7 ~ 200Hz

Brüel & Kjær LAN-XI Type 3056

PCB Piezotronics Model 393B05

Brüel & Kjær PULSE LabShop

VC-Class 그래프

VC-CLASS 그래프 – Target Equipment : SN3-4500M Plus

Z축

X축

Y축

측정 결과

5. 측정 결과 보고

VC-Class 변환
방향	1 ~ 80 Hz
방향	바닥	제진대 상판
Z-axis	C	E
X-axis	C	E
Y-axis	B	E

비고

6. 비고

전 축 제진성능 양호함.

참조

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	Detail Size μm
Workshop (ISO)	사람이 뚜렷이 느낄 수 있는 진동. 작업장·비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	사람이 느낄 수 있는 진동. 사무실·비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 느껴지지 않음. 수술실·100배까지 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배까지 광학현미경·정밀저울 등에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭까지 검사·리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배 광학현미경·1μm 리소그래피 등에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	SEM/TEM 등 고사양 전자현미경에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노 E-Beam 리소그래피 등 최고 민감 설비.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극저노이즈 연구공간. 설계 기준으로는 비권장.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극저노이즈 연구공간. 설계 기준으로는 비권장.	0.78 (31.25)	N/A

*참고:*

- VC-A/B는 통상 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드, VC-C–G는 1–80 Hz 1/3 옥타브 밴드에서 측정된 진폭으로 해석한다.

- Detail size는 반도체에서는 패턴 선폭, 의료·입자 분야에서는 입자 크기 등을 가리킨다.

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