설치 보고서

DVIA-ULF Series

05-26-2026

YIMO DVIA-UD350 (210929R1, P26) OLIMPUS remote tuning worksheet — UD350 internal Z / X / Y program plots

DVIA-U Series

Installation Report

YIMO

OLIMPUS

DVIA-UD350

210929R1

P26

remote tuning

(UD350_210929R1 P26 Set up)

현장 확인 항목

Target equipment	OLIMPUS
Place of installation	N/A
Remark	Good Performance
END USER	N/A

운영자 및 일정

Operator: CHOI, HYOUNGMUN<br>Date of setup : 21.12.15<br>Date of reporting : 21.12.17	Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

Measurement date: 21.12.15(WEN)

Operator: Daeil System, Research engineer YU, HoSang

Place of measurement : N/A

Equipment Model: OLIMPUS

측정 조건 및 결과

측정 결과 요약

Transmissibility

Test Condition	2 Hz	5 Hz	10 Hz
Z	-16 dB	-25 dB	-29 dB
X	-5 dB	-22 dB	-29 dB
Y	-11 dB	-22 dB	-29 dB

Good omnidirectional performance.

UD350 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z축

X축

Y축

참고자료

Generic Vibration Criteria

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	명확히 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지되는 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않음. 주거·수면 공간에 대체로 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 느껴지지 않음. 수술실, 최대 약 100배 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	최대 약 400배 광학현미경, 마이크로밸런스 등에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	검사 및 약 3 µm 선폭 리소그래피 설비 등에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	최대 약 1000배 광학현미경, 약 1 µm 리소그래피 설비 등에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	SEM/TEM 등 고요구 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 수준 시스템에 적합.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8–80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C~VC-G는 1–80 Hz에서 측정합니다.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기 등을 의미합니다.

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