설치 보고서

DVIA-ULF Series

11-30-2020

Lemoneyex Bruker SNE-4500M Plus DVIA-L Vibration Measurement Report (P20)

DVIA-L

DVIA-U Series

Installation Report

Lemoneyex

Bruker

SNE-4500M Plus

SEC

Vibration Measurement

201130

P20

레모넥스_UD350_ P20

현장 확인 항목

Target equipment	Bruker_SNE-4500M Plus
Place of installation	레모넥스 4층
Remark	Good Performance
END USER	레모넥스

운영자 및 일정

Operator: Choi, Hyoung Mun Date of setup : 20.11.30 Date of reporting : 20.11.30	Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment. Measurement date: 2020.11.18 (WED), Operator: Daeil System, Manager Choi, Hyoung Mun Place of measurement : 레모넥스 4층 Equipment Model: Bruker_SNE-4500M Plus Measurement conditions and results - DAQ System : B&K PULSE 14 & LAN-XI Type 3056 - Accelerometer : PCB PIEZOTRONICS 393B05 - Frequency Range : 0.7 ~ 200Hz Summary of measurement results Good omnidirectional performance.

Measurement summary (VC-Class)

Test Condition	VC-Class
	Z
Floor	D
Above Active	F

UD350 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z axis (internal program)

X axis (internal program)

Y axis (internal program)

Octave Band Result (BASE: Floor, TOP: Above Active)

Z axis (octave band)

X axis (octave band)

Y axis (octave band)

참조

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	Detail Size μm
Workshop (ISO)	사람이 뚜렷이 느낄 수 있는 진동. 작업장·비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	사람이 느낄 수 있는 진동. 사무실·비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 느껴지지 않음. 수술실·100배까지 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배까지 광학현미경·정밀저울 등에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭까지 검사·리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배 광학현미경·1μm 리소그래피 등에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	SEM/TEM 등 고사양 전자현미경에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노 E-Beam 리소그래피 등 최고 민감 설비.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극저노이즈 연구공간. 설계 기준으로는 비권장.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극저노이즈 연구공간. 설계 기준으로는 비권장.	0.78 (31.25)	N/A

*참고:*

- VC-A/B는 통상 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드, VC-C–G는 1–80 Hz 1/3 옥타브 밴드에서 측정된 진폭으로 해석한다.

- Detail size는 반도체에서는 패턴 선폭, 의료·입자 분야에서는 입자 크기 등을 가리킨다.

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