본문으로 바로가기
설치 보고서
DVIA-M Series
12-16-2019

Northwest Polytech University ZEISS GeminiSEM 300 DVIA-MB1000 Installation Report (190123R1, 2019-12-16)

DVIA-M Series
Installation Report
Northwest Polytech University
DVIA-MB1000
ZEISS
GeminiSEM 300
SEM
190123R1

Contents

Northwest Polytech University

(MB1000_190123R1 Set up)

현장 확인 항목

Target equipmentZEISS GeminiSEM300
Place of installation1F 126 SEM&TEM Room, Qixiang Building, Northwest Polytech University
RemarkGood Performance
END USERNorthwest Polytech University

운영자 및 일정

Operator: Choi, Sung Won

Date of setup : 19.12.12

Date of reporting : 19.12.16

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

Measurement date: 2019.12.12 (Thursday),

Operator: Daeil System, Manager Sung Won Choi

Place of measurement : 1st Floor, Qixiang Building, Northwest Polytech University

Equipment Model: ZEISS GeminiSEM300

측정 조건 및 결과

측정 결과 요약

Test ConditionVC-Class
ZXY
FloorEGG
Above ActiveGGG

Good omnidirectional performance.

MB1000 internal program performance measurement result

MB1000 internal program — Z axis

MB1000 internal program — X axis

MB1000 internal program — Y axis

Octave Band Result (BASE: Floor, TOP: Above Active)

Octave Band Result — Z axis

Octave Band Result — X axis

Octave Band Result — Y axis

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일12-16-2019
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Northwest Polytech University
DVIA-MB1000
ZEISS
GeminiSEM 300
SEM
190123R1

관련 케이스 스터디

ZEISS GeminiSEM300 DVIA-MB1000 Program (P115 / MB1000_190123R1) Installation Report — 2020.05.12
DVIA-M Series

ZEISS GeminiSEM300 DVIA-MB1000 Program (P115 / MB1000_190123R1) Installation Report — 2020.05.12

05-12-2020자세히
POSCO FUTURE M GeminiSEM 560 DVIA-MB1000 (230704R3) Installation Report
DVIA-M Series

POSCO FUTURE M GeminiSEM 560 DVIA-MB1000 (230704R3) Installation Report

11-10-2023자세히
Xi'an Jingke ZEISS GeminiSEM 300 DVIA-MB1000 (210326R6) Installation Report — 2021.11.23
DVIA-M Series

Xi'an Jingke ZEISS GeminiSEM 300 DVIA-MB1000 (210326R6) Installation Report — 2021.11.23

11-23-2021자세히