설치 보고서
DVIA-M Series
07-30-2018
MC1000 (P58) vibration setup report — in-house TEM at KBSI (2018-07-30)
DVIA-M Series
Installation Report
MC1000
P58
KBSI
TEM
Daeil Systems
Contents
보고서 정보
보고서 제목(원문): 서한기술연구소(MC1000_P58 Set_Up)
타겟 장비: TEM 자체 개발장비
설치장소: 한국기초과학지원연구원 연구동 2층
특이사항: 제진대 성능 양호
END USER: 한국기초과학지원연구원
출장일: 18.07.27
출장자: 최형문
작성일: 18.07.30
개요
제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.
측정 정보
측정일: 2018.07.27 (금), 측정자: 대일시스템 최형문 과장
측정장소: 한국기초과학지원연구원 연구동 2층
장비 모델: TEM 자체 개발장비(프레임까지 사진촬영 허락)
측정결과 요약
Test Condition — VC-Class (일반 조건)
| Z | X | Y | |
|---|---|---|---|
| 건물 바닥 | B | D | E |
| 제진대 상판 | G | G | G |
전 방향 성능이 양호하며, VC-Class그래프를 첨부함.
측정 조건은 일반 조건( SEM 펌프 가동 )과 평상시 조건( SEM/코팅기 펌프 가동/사람이 걸어 다닐 때)으로 측정함.
주변 펌프가 작동하거나 사람이 돌아다니는 등 환경이 변화해도 제진대 상부의 진동 환경에는 큰 영향을 주지 않음.
VC-Class 요약 그래프
MB1000 내부 프로그램 — Z axis
MB1000 내부 프로그램 — X axis
MB1000 내부 프로그램 — Y axis
옥타브 밴드 — Z axis
Octave Band Result (BASE: 바닥, TOP: 제진대 상부)
옥타브 밴드 — X axis
옥타브 밴드 — Y axis
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
이 케이스 스터디 공유하기
케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일07-30-2018
태그
DVIA-M Series
Installation Report
MC1000
P58
KBSI
TEM
Daeil Systems
