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설치 보고서
DVIA-M Series
01-21-2026

Hitachi HT7800 TEM DVIA-ML1000 Installation Report (2nd visit 2026-01-21)

DVIA-M Series
Installation Report
Hitachi
HT7800
TEM
DVIA-ML1000

개요

DVIA-ML1000 능동 제진대는 의도대로 설치·작동합니다.

2차 튜닝(1차: 2025-12-09). Hitachi HT7800 TEM, 측정 시 On/IDLE.

진동 제어 시스템

모델: DVIA-ML1000 / 시리얼: 250912R5

엔지니어

이채원 — 대일시스템

튜닝 날짜

2026년 1월 21일

보고서 작성일

2026년 1월 21일

End User

N/A

튜닝 횟수

2차(1차: 2025-12-09)

Location

N/A

고객사 장비

제조사: Hitachi / TEM / Model: HT7800

진동 사양

VC-G

장비 상태

On/IDLE(가동·대기)

튜닝 요청

N/A

데이터·이미지

수직·좌우·전후 축에 Autospectrum과 Transmissibility(6). 7번째 그래프는 장비 사진(원본 보고서와 동일 순서).

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 Autospectrum

전후 전달률

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일01-21-2026
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DVIA-M Series
Installation Report
Hitachi
HT7800
TEM
DVIA-ML1000