설치 보고서
DVIA-M Series
07-02-2017
Shanghai Institute of Materials Research ZEISS Gemini 500 DVIA-MB1000 (P64) Installation Worksheet — 2017.07.02
DVIA-M Series
Installation Report
Shanghai
ZEISS
Gemini 500
DVIA-MB1000
MB1000
P64
목차
(MB1000 P64 Set up)
중국 출장 보고서 (MB1000_P64 Set up)
Target equipment
| 타겟 장비 | ZEISS Gemini500 |
|---|---|
| 설치장소 | 중국 상해 |
| 특이사항 | 성능 양호 |
| END USER | Shanghai institute of material research |
Trip and report schedule
| 출장자 : 최성원 | 출장일 : 17.06.29 |
|---|---|
| 작성일 : 17.07.02 |
Installation result summary
| Test Direction | Base | Top | ACTIVE |
|---|---|---|---|
| Z | B | N/A | F |
| X | E | N/A | G |
| Y | E | N/A | G |
전 방향 성능 양호.
바닥 진동환경은 수직축 B Class , X축 E Class, Y축 E Class로 측정되었으며, 10Hz 부근 진동이 큰 편임.
액티브 시 제진대 상판 진동 환경은 Z축 F Class, X축 G Class, Y축 G Class로 성능이 양호함.
장비의 이미지는 현미경 셋업 미완료로 확인할 수 없었음.
MB1000 internal program performance measurement result
Z axis (internal program)
X axis (internal program)
Y axis (internal program)
Vibration environment measurement results
Z axis (vibration environment)
X axis (vibration environment)
Y axis (vibration environment)
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일07-02-2017
태그
DVIA-M Series
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Shanghai
ZEISS
Gemini 500
DVIA-MB1000
MB1000
P64
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