설치 보고서
DVIA-M Series
05-14-2018
East China University of Science and Technology ZEISS Gemini 500 DVIA-MB1000 (P63) China trip report — 2018.05.14
DVIA-M Series
Installation Report
East China University of Science and Technology
ECUST
ZEISS
Gemini 500
DVIA-MB1000
P63
Shanghai
China
목차
중국 출장 보고서 (MB1000_P63 Set up)
타겟 장비
ZEISS Gemini500
설치장소
중국 상해
특이사항
성능 양호
END USER
East China University of Science and Technology
출장자
출장자 : 최성원
출장일
출장일 : 17.05.09
작성일
작성일 : 17.05.14
작성일 : 18.05.14
설치 결과 요약
VC-Class 요약 격자 (양식 그대로)
전 방향 성능 양호.
바닥 진동환경은 수직축 D Class , X축 E Class, Y축 E Class로 측정되었으며, 2.5Hz 부근 낮은 주파수 진동이 큰 편임.
액티브 시 제진대 상판 진동 환경은 Z축 G Class, X축 G Class, Y축 G Class로 성능이 양호함.
장비의 이미지는 현미경 셋업 미완료로 확인할 수 없었음.
MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과
Z 축 (내부 프로그램)
X 축 (내부 프로그램)
Y 축 (내부 프로그램)
진동환경 측정 결과
Z 축 (진동환경)
X 축 (진동환경)
Y 축 (진동환경)
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일05-14-2018
태그
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Installation Report
East China University of Science and Technology
ECUST
ZEISS
Gemini 500
DVIA-MB1000
P63
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