설치 보고서
DVIA-M Series
04-10-2018
OXFORD AS400 NMR DVIA-MB1000/P75 (MC1000_P75) — DVIA-M Series vibration report (2018-04-10)
DVIA-M Series
DVIA-MB1000
MC1000
P75
OXFORD
AS400 NMR
Installation Report
Pudan Univ
2018
목차
대상 장비
OXFORD AS400 NMR
설치 장소
푸단대학교, 지하 1층
특이사항
성능 양호
최종 사용자
푸단대학교
출장 일자
18.03.30
출장자
Choi, HyoungMun
작성일
18.04.10
개요
능동 설치 후 진동 환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.
측정 일자
2018.03.30 (금요일), 평가: 대일시스템, 담당 Choi, Hyoung Moon
측정 장소
푸단대학교, 지하 1층
장비 모델
OXFORD AS400 NMR
측정 조건 및 결과
측정 결과 요약
| 시험 조건 | VC-Class Z | VC-Class X | VC-Class Y |
|---|---|---|---|
| 바닥 | E | E | E |
| 활성 상부 | G | G | G |
전 방향 성능이 양호하며 VC-Class 그래프를 첨부함.
MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과
VC-Class 그래프 (Z축)
VC-Class 그래프 (X축)
VC-Class 그래프 (Y축)
옥타브 밴드 결과 (BASE: 바닥, TOP: 활성 상부)
옥타브 밴드 (Z축)
옥타브 밴드 (X축)
옥타브 밴드 (Y축)
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일04-10-2018
태그
DVIA-M Series
DVIA-MB1000
MC1000
P75
OXFORD
AS400 NMR
Installation Report
Pudan Univ
2018
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